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優れた測定が可能にする分析手法です!
【アプリケーション】 ■ドーパントプロファイル評価 ■薄膜組成分布評価 ■表面・断面の元素面分布評価 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター
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各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能!
半導体材料分析項目 原子レベルの構造観察、結晶構造、転位密度、膜厚 表面形状、断面構造(膜厚) 結晶性(面方位)、積層膜の周期構造 表面組成、結合状態、深さ方向分布 不純物濃度、深さ方向分析 結晶構造、応力歪 構成元素、組成 表面のヤング率、硬度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター
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