断面 | イプロス医薬食品技術

絞り込み条件

製品分類

メーカー・取扱い企業

SiCパワートランジスタリーク箇所のSlice&view故障解析

SEM像の3D化でリークパスを確認

裏面エミッション顕微鏡でリーク箇所を特定したSiCトランジスタについて、Slice＆Viewによる断面SEM観察を行いました。Slice＆Viewでは、リーク箇所周辺から数十nmオーダーのピッチで断面観察を行うことにより、リーク箇所を逃さず画像として捉えることが可能です。SEM画像を3D化することで...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】バンプの広域断面観察

イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です

イオンポリッシュ(IP)法では、機械研磨法で問題となっていた加工ダメージ（界面の剥離・硬さの違いによる段差・研磨による傷など）が少ない断面の作製が可能です。加工位置精度も向上し、微小部位を含む広域断面作製も可能です。結晶の損傷が少ないため、綺麗な結晶パターンが得られます。また、機械的応力の影響がないため、内部構造を忠実に保存したまま、...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析

断面方向からライフタイムキラーの影響を確認することが可能です

から産業機器まで様々な製品に使用されています。 IGBTは特性改善のためにライフタイム制御が行われていますが、この制御はドリフト層に欠陥（ライフタイムキラー）を作成することによって行われています。断面からの低温顕微PL分析を行うことによって、ライフタイムキラーに関する知見を得ることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】骨断面の組成分布評価

マウスの脛骨断面の組成分布をTOF-SIMSにより可視化

マウス脛骨の成分分布を評価するため、脛骨の切片を作成しTOF-SIMSによるイメージング分析を行いました。マウス由来成分であるK・Ca・リン酸Ca・リン脂質の分布が確認できました。 TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要なことから、標識物質の影響なく分布の評価が行えます。医薬品の動態解析やDDS（Drug Delivery System）研究など、臓器...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析

微小領域の無機・有機物の分布評価が可能です

析を行うことが有効です。 TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、剥離部の評価に適した手法です。本資料では、はんだの剥離部断面を分析した事例を示します。基板成分・樹脂成分・樹脂以外の有機成分の分布が確認できました。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
ご希望者全員プレゼント！医薬品・医療機器 MST分析事例集

医薬品・医療機器に関する分析事例をまとめて掲載！ご希望者全員に無料プレ…

の組成分布評価　　　・錠剤タイプ頭痛薬の組成分布評価（TOF-SIMS）　　　・苛酷試験による劣化錠剤の比較分析　　　・錠剤タイプ頭痛薬の組成分布評価（XRF,Raman）　　　・骨断面の組成分布評価　　　・臓器断面の組成分布評価　　　・毛根の成分分析　　　・毛髪中ヘアケア剤成分の分布評価　　　・クライオSEM観察～ミクロな世界を覗いてみよう～　　　・クライオS...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ソフトマテリアルの断面観察と元素分析

クライオSEM観察-EDX分析で溶液試料の構造を直接評価

液体試料の内部構造を観察・分析するには、加工や電子線照射による温度上昇を抑え、試料本来の構造を保ったまま一連の分析を行う必要があります。本事例では化粧品を評価サンプルとし、冷却環境を維持したまま断面FIB加工・SEM観察・EDX分析までの構造分析を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Si系太陽電池のBSF層の評価

断面イメージングSIMSにより面内分布のある不純物評価が可能

表面に凹凸のある太陽電池について、凹凸の影響を避けて面内分布評価を行う方法として、断面加工試料をイメージングSIMSにより評価した事例を紹介します。断面SCMによりp+ Si層と判定された領域では、BとAlが高濃度存在することが分かりました。さらに、ラインプロファイルを用いてドーパン...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価

任意断面のEBIC測定で特徴があった箇所の直交断面観察

EBICとEBSDで電気的性質と結晶の関連性についての知見が得られますが、情報の深さが異なります。EBIC分布測定で電気的性質が特徴的であった箇所について、直交断面を作製し、奥行き方向のSTEM像観察を行いました。また、各結晶粒について電子回折を測定しました。これにより、電気的性質と結晶粒・結晶粒界の関係がより一層、明らかになりました。STEM観察および電子回...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
クライオ加工

やわらかいサンプルを冷却、硬化させ切削可能に

温では柔らかくて切削できない有機・高分子材料サンプルやゲル状の材料も冷却して硬化させることで加工が可能となります。クライオ加工により、室温では困難なTg（ガラス転移温度）が低い材料等の超薄切片作製や断面出しを行うことができます。液体窒素を常に供給することで、試料を液体窒素温度までの任意の温度に冷却したまま保持します。冷却硬化したサンプルを鋭利なダイヤモンドナイフもしくはArイオンやGaイ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】樹脂中に存在している異物の評価

試料の断面加工によりTOF-SIMSで樹脂中異物の評価が可能

樹脂中に存在する有機系の異物を評価する際、試料や分析の条件によってはそのままの状態での評価が困難な場合があります。そこで、樹脂を断面加工して異物を最表面に露出させることにより、評価が可能となった事例をご紹介します。エポキシ系樹脂中に混入した数10μmの異物を断面加工により露出後、TOF-SIMSで評価しました。異物成分の同定...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［Slice&View］三次元SEM観察法

FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を…

FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工（Slice）とSEMによる観察（View）を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます。また、SIM(Scanning Ion Microscope)...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

形状を認識できます。・微小領域（数nm～数十μm）のエッチングによる任意形状加工が可能（通常加工サイズ：～20μm程度）・SEM・SEM-STEM・TEM像観察用試料作製（特定箇所の断面出しが可能）・微細パターン（数μm～数十μm）のデポジション薄膜形成が可能（C・W・Ptの成膜）・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM（Scanning Ion Microscop...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置に...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】歯のエナメル小柱の断面観察

FIB加工技術を応用し、エナメル質／接着材界面の全景を観察

虫歯治療においては、「う窩」に詰める充填剤を歯質と一体化するため接着材が用いられます。接着材には歯との強固な接着力と、治療後長期にわたって口腔内に発生する酸や熱などに耐久していく性能が求められており、接着界面の観察は評価･検討のための有効な手段です。FIB加工技術を使用した作製法を用いることにより、従来のダイアモンドナイフを用いた超薄切片では得られなかった有効な成果を得ることができましたので紹介し...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機薄膜太陽電池の断面観察

低加速電圧のSTEMを用いると有機膜のわずかな密度の違いが観えます

p型・n型材料の混合膜を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、高効率化のために膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。密度が低い膜（有機膜など）においては、TEM専用機を用いた高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることが困難です。一方、わずかな密度の違いが反映される低加速電圧のSTEM像観察では膜内の混合状態が明瞭に観察できています。...詳しい...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【資料】二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価

負極の断面構造・表面形状、活物質断面の元素マッピング像など複合的にアプ…

リチウムイオン二次電池の負極での容量低下の一因として、活物質と電解液の界面反応により活物質表面に様々なリチウム塩化合物が複合化したSEI（SolidElectrolyteInterphase）と呼ばれる被膜が形成されることが挙げられています。電池の性能向上のためには、SEI被膜の組成・厚み・化学結合状態の制御が求められています。当資料では、車載用電池の炭素系の負極活...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】リチウムイオン二次電池　Si負極の評価

サンプル冷却により充電後のSi負極の構造を評価可能

候補の一つですが、充放電時の非常に大きな体積変化のためにサイクル劣化が激しいと言われています。今回、充電後のSi負極の状態を確認するために、雰囲気制御環境下で解体して冷却FIB加工を行い、SEMにて断面形状を観察しました。室温で断面観察を行った場合は、膜の収縮・観察面の荒れ・孔発生等の大きなダメージが見られる一方で、冷却しながら観察を行うことでSi負極の変質を抑えて試料本来の形状を評価できました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】CIGS膜のpn接合評価および結晶粒評価

SEMによる電子線誘起電流法・結晶方位解析

陽電池は低コスト次世代太陽電池として期待されています。大面積化、高品質化のための開発が進められています。多結晶薄膜の特性を評価するため、EBICによるpn接合の評価・EBSD法による結晶粒評価を同一断面で行いました。CIGS膜の断面を作製し、電子ビームを走査することによって、起電流（EBIC）を測定し、起電流の面内分布を可視化しました。また、同一面のEBSDを測定することにより、起電流の分布と結晶...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】クライオSEMについて

クライオ加工冷却SEM：走査電子顕微鏡法

液状試料の構造を観察するには、試料本来の構造を維持した状態で一連の分析をする必要があります。クライオSEMでは、試料を急速凍結して割断面を作製することで、試料構造を観察することができます。さらにFIB加工による断面作製技術を組み合わせることで、より詳細な内部構造の情報を得ることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】冷却下での肉組織の形状観察

肉組織の形状を確認することで変色の原因を調査

肉が『黄色く変色してしまう』原因を調査するため、正常品と変色品の肉組織に揃ってい形状の違いに着目してクライオSEM観察を行いました。液体窒素温度で凍結した試料の断面をFIBを用いて作成した後、組織を表出させた断面をSEM観察しました。その結果、変色品では正常品と比較して肉組織の向きが同方向ることが確認されました。観察された構造の違いが変色の原因となった...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】リライト材料の層構造分析

無機・有機成分の層構造解析と分子情報の可視化が可能

情報記録材料であるリライト材料を用いた一般的なポイントカードの断面構造について、各層に分布する材料の分子情報や質量を可視化した事例をご紹介します。ポイントカードの断面を、TOF-SIMSを用いて分析を行いました。イメージ像により、構成分子や添加剤の存在が確認で...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】AESによるボンディング界面の元素分析

加工を併用することで界面の元素分析が可能

AES分析は最表面（～深さ数nm）の組成情報や元素分布を得る手法ですが、断面加工を併用することで、層構造内や構造界面でも同様の情報を得ることができます。合金層や元素拡散・偏析等の評価が可能であるため、デバイスの故障解析や不具合調査等に有効です。以下にワイヤボンディングの...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

カードエッジコネクタについてIP加工後、反射電子像観察を行いました。 IP法と機械研磨法で作製した断面の反射電子像観察を行いました。 IP法ではCu結晶粒が明瞭に観察され、研磨キズもありません。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
ロックイン発熱解析法

ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します

開封作業や電極の除去を行うことなく、パッケージのまま電極除去なしに非破壊での故障箇所特定が可能です。・ロックイン信号を用いることにより高いS/Nで発熱箇所を特定でき、Slice ＆ Viewなど断面解析を行うことができます。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】生体材料中成分の分布状態の可視化

生体材料の切片作製から分析までまとめて承ります

本資料では、マウスの脳・心臓・肝臓・腎臓・歯の組織についてそれぞれ断面切片を作製し、TOF-SIMSでイメージングしました。イメージング領域は約10μm～数cmオーダーまで可能で、着目に合わせて分解能良く分析することができます。生体の各器官に合わせて切片作製を行い、成...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】バッテリー正極材の活物質抽出およびデータ解析

深層学習×データ解析によりSEM像から活物質の粒径を求めました

深層学習により、画像から目的の対象物を抽出することが可能です。また、得られた対象ごとに領域を解析することで数値として情報を得ることができます。今回、バッテリー正極材の断面SEM像に対して、深層学習を用いて活物質粒子の抽出、クラックの検出をしました。Slice&Viewデータのような3Dデータに対しても同様に抽出が可能です。3Dデータからクラック有、クラック無粒子を抽...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】光ファイバーのコアとクラッドの定性評価

TOF-SIMSにより光ファイバーの材料の定性・分布評価が可能です

純物の有無、密着性、被覆状態、付着物などを分析することが重要となります。光ファイバーは、大きく分けてプラスチック製、石英製の2つがあります。本資料では、TOF-SIMSでプラスチック製光ファイバーの断面を分析することにより、コアおよびクラッドの材料を同定した事例を紹介します。測定法：TOF-SIMS 製品分野：光ファイバー・電子部品分析目的：定性評価、有機物評価、組成分布評価「詳...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ラット皮膚中インドメタシンの経皮吸収評価

TOF-SIMSにより生体組織中薬効成分の分布を可視化

TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要であり、その影響のないイメージング評価が可能です。また、断面イメージングを行うことで、深さ方向への分布評価をすることができます。今回、ラットの皮膚にインドメタシンのゲル製剤を2時間塗布し、浸透した薬効成分の分布を可視化しました。その結果、インドメタシンは角層...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】毛髪のキューティクル表面の成分分布を可視化

有機分子の分布をTOF-SIMSイメージ分析で比較

析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、試料中の着目成分の分布・浸透具合の解析に有効な手段です。本資料では、シロキサン系のヘアケア剤を用いた毛髪の「断面および表面」と、毛髪の「表面」をイメージ分析した結果を示します。毛先表面と根本表面のキューティクルには、成分分布状態に違いがあることが確認できました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：医...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験

加熱劣化後のサンプルをLC/MS/MS,TOF-SIMS,TEM+ED…

です。今回は、温度による劣化機構についての評価のために、加熱劣化試験を行いました。加熱劣化試験後、大幅な容量低下が見られたサンプルについて、電解液をLC/MS/MS、負極表面をTOF-SIMS、負極断面をFIB-TEM+EDXで評価しました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価

PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察

できます。本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとSTEMを用いて調査を行いました。 PLマッピングにより積層欠陥位置を特定後、欠陥端部分についてμサンプリングを行い、断面STEM観察を実施しました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】近赤外VCSELのSMMによるキャリア分布評価

実装品の解体・加工から拡散層の計測までを一貫して行えます

近赤外VCSEL（面発光レーザー）の実装品を解体して微小なチップを取り出し、断面加工の後にSMM計測を実施しました。 VCSELの開口部を取り囲むように、高抵抗の電流狭窄層が観察されました。また、活性層近傍では材質の異なる膜が積層しており、この組成を反映したコントラストとして...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング

表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です

ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていること...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】イメージセンサの拡散層形状評価

試料解体から測定まで一貫して対応します

フォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られました。 SCM は、イメージセンサ拡散層の出来映え評価や故障解析に有効なツールの一つです。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価

断面マッピングにより、GaNの結晶成長の様子を評価可能

窒化ガリウムGaNは、熱伝導率が大きい点や高耐圧といった特性のため、LEDやパワーデバイスなどの材料として用いられます。それら製品の製造工程では、デバイス特性に影響を与える結晶欠陥の無い、高品質なGaN結晶の作製が求められます。本資料では、c面上に形成したGaN基板（c-GaN基板）上に、c-GaN結晶を高速気相成長させたサンプルの結晶状態を評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価

イメージングSIMS分析により面内分布を可視化

デバイス作成の要素の一つである膜組成の均一性と不純物の分布状態をイメージングSIMS分析により評価しました。測定後のデータ処理により、平面イメージ（図1）・断面イメージ（図2）・任意箇所の深さ方向分布プロファイル（図3, 4）・ラインプロファイルを得ることができます。構成材料・不純物の分布から、プロセス・膜質改善に繋がる情報を得ることができます。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】MEMS中ドーパントの三次元分布評価

イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます

市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました（測定領域：75μｍ角、深さ：約1.5μm）。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。注）イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】CMOSセンサの総合評価

スマートフォン部品のリバースエンジニアリング

市販品のスマートフォンからレンズ、CMOSセンサチップをそれぞれ取り出し、評価した事例をご紹介します。目的に応じて研磨・FIB加工により、平面、断面を作製し、TEM,SEMにより層構造やレイヤーを確認しまた。さらに、EDXにより膜種の同定を行いました。MSTでは、解体から分析まで一貫してお引き受けが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】眼球に投与した薬剤成分の分布評価

眼球の加工と薬剤成分の可視化（イメージング）が可能です

投与薬剤が生体内でどのように分布しているかを知ることは、薬剤開発のうえで重要な情報となります。本事例では魚類の眼球硝子体内に薬剤を直接投与し、眼球断面で薬剤成分の分布を評価しました。結果、薬剤を投与した付近から薬剤成分が強く検出され、眼内に分布している様子が得られました。質量顕微鏡であるTOF-SIMSを用いることにより、眼球をはじめとし...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析

Csコレクタ付STEMによる原子レベル分解能EDX分析

TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能(HR)-STEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。4種類の元素からなる多結晶構造を持つCIGS...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

FIB法による特定箇所の平面TEM観察

ナノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造（シリコン酸化膜／シリコン窒化膜/シリコン酸化膜）が確認できます。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】バイポーラトランジスタの拡散層構造評価

ｐｎ判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能

市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。 AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能・FIB（集束イオンビーム）加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能（Slice&View）...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

1〜45 件 / 全 70 件

表示件数

45件

< 前へ
1
2
次へ >