医療・製薬・研究・食品分野で活躍！高温排水管『フジGRPパイプ』

PR薄肉化・軽量化を実現。耐薬品性に優れ100℃の高温でもOK。食品工場や…

『フジGRPパイプ』は、ポリプロピレンにガラス繊維を練り込んだ複合材料です。 熱的・機械的・化学的に極めて優れた性能を持っており、 化学工場の圧力配管だけでなく、 医療・製薬・研究分野の薬液排水管として、20年以上の実績がございます。 また、近年では食品工場・厨房の高温排水管としても注目を集めております。 【こんな用途で活躍中！】 ◆医療排水：臨床検査・人工透析・厨房等 ◆製薬排水：製薬工場・...

メーカー・取り扱い企業： 富士化工株式会社

ワゴン型除菌装置　Weraser 奏（かなで）

ワゴン型除菌装置！二酸化塩素ガスを20ｍ/秒で放出！空間に素速く拡散し…

奏は給液された二酸化塩素水から二酸化塩素ガスを生成し、アーチから放出します。 給液された二酸化塩素水を、可変型バブリング機能により活性化され二酸化塩素ガスを生成します。 生成されたガス濃度は、外部の計測器計により損1定され、あらかじめ設定した空間ガス濃度に到達するまで放出をします。 奏と計は2.4GHz帯電波(第二世代小電カデータ通信システム)により接続され、 インテリジェンス機能を持...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

ワゴン型除菌装置　Weraser 雫（しずく）

ステリパワー(次亜塩素酸水溶液)使用。特殊ノズルで7μmのミスト状で噴…

雫は可動するドームからステリパワー(次亜塩素酸水溶液)を噴霧し、除菌された安全な空間を作り出します。 本体は安定感のある台形フォルムのワゴンスタイルで機能性に優れています。 特殊ノズルにより薬液を7μmのミスト状にして噴射するのでマイクロ粒子が空間に長く浮遊し除菌効果を高めます。 開閉式ドームによりノズルの角度調整を行い除菌液の噴射角度の変更できます(3段階)。(注意：ノズル取り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

除染システムの概要

ガス濃度は380ppmで固定！温度・湿度条件に基づいて、曝露時間を決定…

除染システムは、ガス発生機・ガス計測器・ガス回収機で構成されており、 ガスを室内に供給、室内の空気を吸引します。 ガス計測器(CDM-5)は、二酸化塩素ガス濃度の計測装置で、計測器Bで 吸引したガスが計測器Aに送られ、ガス濃度を測定。 ガス濃度はガス発生機にて表示され、供給するガスを調整します。 また、ガス回収機(CDR-SH)二酸化塩素ガスの回収装置で、活性炭フィルターで 二...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

他の殺菌ガスとの比較

殺菌剤の酸化性比較！使用方法や除染時間などについてご紹介しています

二酸化塩素は、ガスの拡散性が高く、高所、低所、狭所などに拡散し、 石膏ボードをガスが通過します。 二酸化塩素ガスは、次亜塩素酸ナトリウム、オゾン、過酢酸、 過酸化水素よりも、酸化力が弱く、素材に対して腐食性が低く、 酸素や、オゾン、塩素に比べ、鉄やマンガンを酸化しにくくなっています。 この他にも、成分の残留性をはじめ、材質への影響や殺虫効果などについても 比較しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

二酸化塩素ガスによる除染の優位性

安定したガス供給が可能！二酸化塩素ガスは短時間でガスの回収ができます

二酸化塩素ガス生成の機構では、除染の現場で二液を混合しガスを 発生させるため、安定したガス供給が可能です。 二酸化塩素ガスの殺虫効力試験で、チャタテムシやダニに対して 抜群の殺虫効果が認められています。 また、ホルマリンは安全濃度に下がるまでに時間がかかるのに対し、 二酸化塩素ガスは短時間でガスの回収が可能なため、除染の作業時間は 大幅な時間短縮となります。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

【製薬業界の方へ】【資料】二酸化塩素ガスによる除染システムの紹介

芽胞菌まで死滅させる広域な除染スペクトラム！二酸化塩素ガスによる除染の…

当資料は、防菌防黴が必要な医薬品製造工場等を対象とした 二酸化塩素ガスによる除染システムについて掲載しています。 「ホルマリン代替除染法へのニーズ」をはじめ、「二酸化塩素の用途と基準」 や「二酸化塩素ガスの殺虫効力試験」などを、図や写真と共に詳しく解説。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■ホルマリンによる除染の課題 ■二酸化塩素ガスによる除染の優位性 ■「ESCO...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ローコストガス混合器『CUBE GMシリーズ』

必要最小限の構成により低価格を実現！安定した混合ガスの供給が可能！

『CUBE GMシリーズ』は、マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・ 逆止弁・ガスミキサーをオールインワンしたユニットタイプのガス混合器です。 IN側とOUT側に配管を接続するだけで2～4種類のガスを任意の流量に 設定・制御して、混合ガスを供給します。 各種分析、実験研究、培養、バイオ、医薬、医療、パッケージングなど 幅広い用途でご使用頂けます。 【特長】 ■マスフ...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

ガス発生装置　総合カタログ

空気からガスを生成するガス発生装置総合カタログ（窒素、酸素、オゾン、ク…

当カタログは、コフロック株式会社が取り扱う『ガス発生装置』の総合カタログです。 【掲載内容】 ■ガス発生装置とは ■ガス発生装置導入事例 ■ガス発生装置レンジ表 ■窒素ガス発生装置一覧 ■酸素ガス発生装置一覧 ■オゾンガス発生装置一覧 ■水素ガス発生装置一覧 ■その他ガス発生装置一覧（クリーン・ドライエア、ガス混合装置） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

超小型クリーン・ドライ・エア発生装置 Mini-CUBEシリーズ

大気圧露点-70℃以下のクリーン・ドライ・エアを供給！簡単操作の小型装…

『Mini-CUBEシリーズ（MAIRS）』は、卓上型のクリーン・ドライ・エア発生装置で、 大気圧露点-70℃以下のエアを供給することができます。 空気清浄等級0:2:0(JIS B 8392-1:2012)をクリアした製品ガスは分析機器、 紛体の圧送、冷凍機の結露防止など様々な用途に使用可能。 窒素・酸素発生装置同様、コンプレッサを内蔵した超小型ボディーは 卓上設置ができます。...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

ガス混合器『CUBEGM-Xシリーズ』

プログラム運転可能！ユニットタイプのタッチパネル式ガス混合器

『CUBEGM-Xシリーズ』は、マスフローコントローラー・制御電源・ バルブ・ガスミキサーをオールインワンしたタッチパネル式ガス混合器です。 流量設定が簡単に行え、各ラインの流量と時間を設定することで プログラム運転が可能。 また、各ライン基準流量の上下限設定が可能なアラーム機能を搭載し、 操作性と機能性を向上させました。 【特長】 ■マスフローコントローラー・制御電源・...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

フローメータ内蔵型ガス混合装置『PMG-1A』

配管をナイロンチューブで行う事で低価格を実現！優れた安定性と再現性を装…

『PMG-1A』は、KOFLOCのメカニカルな精密流量制御バルブとフローメータ によるガス混合装置です。 本装置には、気体の微少流量範囲の精密な流量制御を可能にした定流量 ユニットが内蔵されております。 流量設定は、相互干渉無く確実容易で、本装置に接続する負荷の圧力に変動が 生じても安定した混合ガスが一定供給されるようになっております。 【特長】 ■安定性、再現性に優れた...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

ガス混合装置『BRENDA SERIES』

各ラインのガス流量を自動演算！モバイル端末でのリモート制御が可能です

『BRENDA SERIES』は、高性能デジタルマスフローコントローラにより、 正確なガスの混合率で混合ガスを生産できるようになりました。 また、8インチタッチパネル採用により混合ガスの濃度・流量設定が簡略化 されました。 機能面も充実した当製品はVNCサーバー機能を標準搭載し、ネットワークを 介しての遠隔操作、無線アクセスポイントを介したモバイル端末でのリモート 制御を可能と...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

屋外型クリーンドライエア発生装置『GENE-BASEシリーズ』

防水性能IPX3相当の屋外型クリーン・ドライ・エア発生装置をご紹介しま…

『GENE-BASEシリーズ』は、ガス発生装置のコフロックとコンプレッサの 北越工業との技術融合から誕生した、屋外型の酸素ガス発生装置です。 屋内外設置に対応し、屋外では45℃の高温環境下でも連続運転可能。防水性能はIPX3相当です。 装置内にコンプレッサを内蔵しているため、コンプレッサ室などの建造物が 不要となり、設置コストの大幅な削減が見込めます。 【特長】 ■屋内・外...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

バックプレッシャーレギュレータ『MODEL6800SERIES』

最大流量は0.8L/min、1L/min、10L/min！パネル取付に…

『MODEL 6800 SERIES』は、耐圧0.8MPa(G)のバックプレッシャー レギュレータです。 接続は標準がRc1/4で、オプションがRc1/8。環境温度は5～60℃です。 また、パネル取付に好適な入口出口配置で、一次側圧力を一定化します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■一次側設定圧力 　・6800A/6800AL：0.0...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

マイクロナノバブル発生装置『OM4-MDG-045』

微少流量可変仕様！研究開発向けマイクロナノバブル発生装置

『OM4-MDG-045』は、耐久性に優れたマグネットギヤポンプ (シールレス)を標準装備した、持ち運び便利なハンディタイプの マイクロナノバブル発生装置です。 流量は安定性に優れたインバーター制御を採用し、1.2～1.8L/minまで 可変可能。流量可変による気泡径のバラつきはありません。 また、循環・ワンパスどちらでも使用可能です。 【特長】 ■電源は単相100V（5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーラテック 本社

小型クリーン・ドライエア発生装置『Mシリーズ（MCDA）』

オイルフリーコンプレッサ内蔵！小型クリーン・ドライ・エア発生装置（JI…

『Mシリーズ（MCDA）』は、装置の小型化・メンテナンス性の向上を追求した装置です。 マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてタッチパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。 小型のオイルフリーコンプレッサを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用することができます。 【特長】 ■設置スペースに合わせてタッチパネル面を選択可能 ■マル...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

光合成促進機『RA-43K2』

求めていたコンパクトサイズ！ハウス内で不足しがちな炭酸ガスを効率的に供…

『RA-43K2』は、作物の光合成能力を高め、品質＆収穫量アップに貢献する 光合成促進機です。 使用方法も簡単で、環境にあわせた効率よい施用ができるので、ハウス内で 炭酸ガスはムダなく作物に吸収され、経済性にも優れています。 また、本体の重さは約8.2kgと軽量なので、持ち運びが容易。設置はもちろん、 シーズンオフの片付けも簡単です。 【特長】 ■頼れるハイパワーのコンパ...

メーカー・取り扱い企業： ダイニチ工業株式会社 本社

水素吸蔵合金キャニスター

水素を安全に持ち運び使用可能！実験室のガスボンベに代わる新しい水素供給…

水素吸蔵合金キャニスターは、水素を吸収・放出する特性を持つ水素吸蔵合金が充填された容器です。 コンパクトで安全。繰り返し利用することが可能。ガスボンベに代わる新たな水素供給ツールです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【機能紹介】 ■水素を可逆的に吸放出できる水素吸蔵合金を利用 ・水素分子は水素吸蔵合金の表面で水素原子に解離し、水素吸蔵合金中の金...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

水素ガス発生装置

省スペースでの設置が可能！水の電気分解による水素ガス発生装置をご紹介し…

必要な時に必要な量だけ水を電気分解し、純度99.999%の水素ガスを製造。 ガスボンベを使う際の運搬、交換、管理作業から解放されます。 省スペースで設置が可能。しかもメンテナンスフリー。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【機能紹介】 ■パラジウム触媒による水素ガスの高純度化 ■スイッチひとつで起動・終了 ■様々な装置へ供給可能 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

株式会社タチバナ製作所『業務用ガス器具総合カタログ』

JIA認証を始めとする安全対応も万全！全てがハイクォリティーな製品をご…

当カタログは、業務用高級鋳物・ガス器具の総合メーカーである 株式会社タチバナ製作所の、業務用ガス器具総合カタログです。 取りはずし自由キャップでお掃除が楽にできる「JIA認証シリーズ　 キャップ(火皿)タイプ」をはじめとして、強力火力で経済的な 「JIA認証シリーズ　穴あきタイプ」や「ブルーファイアーバーナー」 など、様々な製品を掲載しております。 優れた機能性と使いやすさを追...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タチバナ製作所 本社工場

Mini-CUBE MAIRS-NCP/NCPWシリーズ

大気圧露点-70℃のエアを供給することが可能！湿度制御などに使用されま…

『Mini-CUBE MAIRS-NCP/NCPWシリーズ』は、大気圧露点-70℃のエアを供給 することができるクリーン・ドライエア発生装置です。 空気清浄度等級ISO8573-1：2010に対応するエアの供給が可能。各種分析 機器への供給をはじめ、湿度制御や冷却器への霜付防止に使用されます。 また、オイルフリーコンプレッサを内蔵しており、AIRの供給が不要です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

『Simerics MP for SOLIDWORKS』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

クリーンパワーガス発生装置『HH-1001500MSX』

装置の形状が横型で安定！装置はほとんど自動運転化され、メンテナンスフリ…

『HH-1001500MSX』は、主に国内での病院や水素サロン向け用の本格的な 酸水素混合ガス発生装置です。 装置の形状が横型で安定しており、必要量のガスを安定的に供給可能。 またヒーターの設置にて、室温が20℃以下と低い冬季でも、 運転開始と同時に規定量のガスが発生します。 【特長】 ■主に国内での病院や水素サロン向け ■装置の形状が横型で安定している ■必要量のガス...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【資料】酸水素混合ガス発生装置の概要と応用分野別の効果・実績事例

「CPG発生装置の概要」や「酸水素混合ガス（CPG）の有効活用」などご…

当資料では、『酸水素混合ガス発生装置の概要とその応用分野別の効果・ 実績事例』についてご紹介しています。 「CPG発生装置の概要」や、「酸水素混合ガス（CPG）の有効活用」などを掲載。 この他、「90l／H発生システムのフローチャート」や「90l／H発生システムの セルの基本構造」を図を用いて詳しくご紹介しております。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■はじめに ...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【資料】水素酸素ガス発生装置のガス分析結果報告書

水素酸素ガス発生装置「HH-10015000MSX」の定量分析結果を表…

当資料は、水素酸素ガス発生装置のガス分析結果に関する報告書です。 水素酸素ガス発生装置から発生するガスについて定量分析を行うことを 目的としており、分析項目をはじめ、分析方法や分析結果などを掲載。 ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■目的 ■試料名 ■分析項目 ■分析方法 ■分析結果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳し...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【資料】酸水素混合ガス発生装置と「スクワレン」との組合わせ使用

「スクワレンとは」や「無機ヨードと有機性ヨードと有機ヨードの違い」など…

当資料では、酸水素混合ガス発生装置と「スクワレン」との組合わせ使用 について紹介しています。 「有機ヨードとスクワレンとクリルオイル」をはじめ、「スクワレンとは」や 「オールランドのスクワレン」「無機ヨードと有機性ヨードと有機ヨードの 違い」などを掲載。 ぜひご覧ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■酸水素混合ガス発生装置と「スクワレン」との組合わせ使用について ■有機ヨ...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【研究資料】酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果

「特に血液に起因する各種の病気に改善効果が出ていることの根拠」などご紹…

当資料では、『酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果』について ご紹介しています。 「特に血液に起因する各種の病気に改善効果が出ていることの根拠」をはじめ、 「細胞の活性化を促すことで、老化現象の進行を防止する」、 「CPG吸引による具体的な治験事例」などを掲載。 その他、ウイルス菌感染症に対する感染予防と重症化防止対策についても ご紹介しております。ぜひ、ご一読く...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【資料】ウイルス菌感染症に対する感染予防と重症化防止対策について

「TDS製酸水素混合ガス発生装置をご使用された方々からの生の声」などを…

当資料では、ウイルス菌感染症に対する感染予防と重症化防止対策について ご紹介しています。 「ウイルス感染症対策機器のご紹介」をはじめ、「酸水素混合ガス（CPG） 吸引による人体に対する効果」や「TDS製酸水素混合ガス発生装置を ご使用された方々からの生の声」などを掲載。 ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■ウイルス菌感染症に対する感染予防と重症化防止対策について ■ウイ...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

二酸化塩素ガス除染システム

拡散性に優れ、大空間に適用しやすい！現場で二液を反応させてガスを発生さ…

『二酸化塩素ガス除染システム』は、現場で二液を反応させて ガスを発生させるシステムのため、安定したガス供給が可能です。 優れた除染能力を持ち、芽胞菌にも有効。 ガスの回収時間が短く、除染時間が短縮できます。 この他にも、二酸化塩素ガス除染システムは、多くの特長があります。 除染手法の選択肢として、ぜひご検討をお願い致します。 【特長】 ■安定したガス供給が可能 ■優れ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社