本社 | イプロス医薬食品技術

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』

四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、安...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』

パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適なガス分析システムです。パソコン制御による容易な測定が可能。用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。【特長】 ■分析計は5機種より選択可能・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速）...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』

高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトラ…

『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等幅広く使用されています。また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の「M-070QA-TDF」もご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

四重極型質量分析計（高速測定/高感度測定）

2種類のイオン源から選択可能！高速測定/高感度測定が可能な四重極型質量…

キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。 m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や 8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。 UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能なほか、低ガス放出のイオン源を採用...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、　　大気圧から高真空まで広い測定圧力範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

真空計『ピラニゲージ』

低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプ…

『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■5×10^-2Paから大気圧 ■様々な産業で使用可能 ■粗引き系の圧力測定、排気系の...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等のゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-...

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キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を展開しております。「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品をお客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの一員として、グローバル...

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