大石産業株式会社　設備紹介【3】

PRパッキン自動投入アッセンブリ加工からカメラ検査迄1台で作業

当社のパッキンの製造、またその他製品を製造する際に使用する設備を ご紹介いたします。 パッキンストッカーより、パッキンを自動投入、パッキン装着後キャップのパッキン装着部の欠けや汚れをカメラ検査にて 良不良の判別をし、２枚入りや抜けを検査する機能も搭載。 【保有設備】 ■半自動樹脂キャップ用パッキンセット機 ■自動送りプレス機 ■全自動樹脂キャップ用Pセット機(視覚検査機2台付) ■ロータリー...

メーカー・取り扱い企業： 大石産業株式会社

ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

透明素材にも対応する高精度検査装置

微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 　観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中...【検出】 方　　　式：　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェハ外観検査装置（画像式）

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）

高出力レーザーで微小欠陥を検出！

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約９１秒/6inch） ・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出 ・欠陥の凹凸を弁別 ・SEM等での分析用にケガキ可能 ・レー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装