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PR繰り返し使うことで環境負荷削減!金属製の高性能な高温集塵フィルター。
「パイロスクリーン」は、ステンレスまたは、アルミ製の高温集塵フィルターです。 ダストを含んだ気流を強制的に方向転換させるスクリーンを10枚複合することで、90~99%以上の除塵効率を実現しました。 圧力損失が極めて小さい点、材質・構造から高強度な点が大きな特長です。 【パイロスクリーンの特長・メリット】 ■乾性・湿性どちらにも使用可能 ステンレス製フィルターなので乾・湿どちらにも使...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社布引製作所 本社
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PRサイクル時間を短縮!歩留率を向上させることでプロセスの効率性を高めます
当社では、リアルタイムプロセス管理とラボスケールタンジェンシャル フローろ過(TFF)を統合した『KrosFlo KR2i RPM システム』を 取り扱っております。 当システムは、KrosFlo KR2i システムとCTech FlowVPX 可変光路長紫外可視分光光度計を組み合わせ、インライン濃度 モニタリングとエンドポイント制御を備えた自動TFFを提供。 KR2iとFlo...
メーカー・取り扱い企業: レプリジェンジャパン合同会社
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PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定!オプションにより表面抵抗測…
介します。 斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に2探針をコンタクトさせ、 そのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル、 EPI層の厚み、PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定。 「SRP2000」は、プローブのコンディショニング、ベベルアングルの測定、 標準サンプルのデータ入力などが全自動化し、多数サンプルの連続自動 測定ができ、サンプルは最大6個同...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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IR反射率測定ヘッドを使用可能!高スループットのエピ膜厚測定を実現した…
【その他の特長】 ■酸素濃度、炭素濃度測定 ■ロードポート:シングルまたはデュアルカセットロードポート ■高速マッピングステージ ■IR反射率測定ヘッドを使用可能(エピ膜厚用) ■追加の測定ヘッドを使用可能(分光エリプ...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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薄膜光学特性を非破壊で測定! 手軽に高精度測定できる分光エリプソメト…
日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率(N,K値)波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。 【測定可能な物理特性】 ■厚さ光学屈折率 ■屈折率の勾配と材料組成 ■ドーパント濃度
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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様々な半導体キャリア輸送特性の測定が可能!マイウロウェーブ反射による非…
半導体デバイスの製造にとって、キャリア移動度は、とても重要なパラメーターに なります。 『LEI-1610シリーズ』は、移動度、キャリア濃度、シート抵抗など様々な 半導体キャリア輸送特性の測定が可能な非接触移動度測定装置です。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハ...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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u-PCD法でのマッピング測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケッ…
オプションにて様々な電気的測定のマッピング測定が可能です。 (拡散長、鉄濃度、比抵抗、シート抵抗、LBIC、反射率、IQE、PN判定)...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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