活性化アニール炉『VF-3000H』

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使い...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』

最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦…

『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

ミニバッチ縦型炉『VF-3000』

R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型…

『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに ...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部