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R&D~量産まで使用可能!3~6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ~6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使い...
メーカー・取り扱い企業: 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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最大16個のFOUPストッカー!300mmウェーハ対応のラージバッチ縦…
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温~中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT...
メーカー・取り扱い企業: 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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R&D~量産まで使用可能な~Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型…
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50~75枚の選択処理が可能なほか、~Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに ...
メーカー・取り扱い企業: 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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