ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

ドラフトチャンバー『ウォークインタイプ DFW型』

PR内部に大型の実験装置や機器を組込めるウォークインタイプのドラフトチャン…

『ウォークインタイプ DFW型』は、多田製作所社製のドラフトチャンバーです。 ドラフトチャンバー内部は床面より十分な有効高さを持っていますので、 フード内に大型の装置や機器を組み立てたり、外部で組み立てた装置を フード内に移動させることも容易に行えます。 独自の気流設計により床面に発生するガスもスムーズに排気されます。 オールステンレス製や防爆仕様等、ご要望に応じた設計が可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多田製作所

GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置

コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…

本装置は、数十～数万個の気体原子や分子の集団をイオン化して適度なエネルギーに加速したビーム（GCIB）を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来ます。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能です。 【特長】 ■ナノオーダーの微細加工に適しています ■Ra 数ナノメートルの平坦化加工 ■反応性ガス処理対...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

環境信頼性試験装置『Thermal Shock ETSシリーズ』

研究開発及び生産効率の向上に好適！十数秒での昇温・降温により、温度信頼…

『Thermal Shock ETSシリーズ』は、5G通信用デバイス、半導体、チップ、 センサー、マイクロエレクトロニクスなど幅広い分野にて使用されている 環境信頼性試験装置です。 短時間にて冷熱衝撃をかけたテストサンプルの化学的・物理的・ 時間変化を確認可能。 研究開発及び生産効率の向上に好適です。 ・温度変化範囲 ETS-210-10S：-55℃～+180℃ ETS...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

SIRIUS-O

基材を痛めずに洗浄やコーディング膜の削除を可能とした噴流加工

SIRIUS-Oは、噴流加工技術を搭載した洗浄装置です。 噴流加工とは、弾性体であるメディアを噴射し、スベリながら被加工物に アタックすることで面ダレ・梨地などが発生しない加工技術です。 被加工物へのダメージも無く、コーティング膜のみを落とすことができるので、精密部品の洗浄などに適しています。...◎シリウスは噴流処理後、基板厚みの変化 1μm以下を実証済み （WA#100時 ： 厚み0....

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社