原子間力顕微鏡『Park NX-HDM』

欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微…

『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングスト...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社

原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』

NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM

『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPar...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社

原子間力顕微鏡『Park NX-Wafer』

自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹…

『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社