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    試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』

    プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光…

    【仕様】 ■アライメント形式 　・マスクー試料裏面または表面観察によるビデオメモリアライメント ■露光方式 　・1.1（等倍）コンタクト露光 ■適応試料 　・サイズ最大　BA100φ4インチ　BA160Φ6インチ ■適応マスク 　・サイズ最大　BA...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

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