• 【書籍】造粒プロセスの最適化と設計・操作事例集(No.2227) 製品画像

    【書籍】造粒プロセスの最適化と設計・操作事例集(No.2227)

    PR【試読できます】★ 各種造粒のメカニズム、プロセス、操作パラメータ設定…

    ★ シミュレーション、AIを駆使した造粒プロセス最適化、連続生産システムの構築! --------------------- ■ 本書のポイント ● 造粒のスケールアップに必要な操作パラメータの適切な設定 ● 造粒装置・操作におけるトラブルと対策 ● 造粒物の粒度分布・粒子径・流動性・付着性の評価 ● 造粒のリアルタイムモニタリング、固形製剤連続生産システムの構築 ......

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会

  • Patsnap Synapse |医薬品R&Dインテリジェンス  製品画像

    Patsnap Synapse |医薬品R&Dインテリジェンス

    PR医薬品パイプラインを包括的に把握し、ホワイトスペースを特定し、潜在的な…

    Synapseは医薬R&Dインテリジェンス調査ツールで、医薬品、臨床試験、ニュース、文献、特許を一度に検索できます。医薬品の研究開発、導入出・M&A・共同研究先の検討、マーケティングの意思決定を支援します。特許や競合リスクの特定、疾患領域や承認情報の把握にも利用でき、R&Dの効率化とコスト削減を促進します。現在一部機能を無料で体験頂けます。 【特長】 ■Patsnap Copilot  ...

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    メーカー・取り扱い企業: パトコア株式会社

  • 表面処理の特性予測ソリューション 製品画像

    表面処理の特性予測ソリューション

    複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

    材料特性など プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します! 【解析対象となる物理現象】 ・結合と活性化 ・成膜 ・スパッタや浸食 ・脱離や洗浄   など 【評価可能な表面特性例】 ・原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価 ・物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価 ・入射粒子の表面反応予測 ・処理後の表面粗さ評...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション 製品画像

    【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

    専門知識を持った技術者がサポート!各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

    【その他の特長】 <解析対象となる物理現象> ■結合と活性化 ■成膜 ■スパッタや浸食 ■脱離や洗浄   など <評価可能な表面特性例> ■原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価 ■物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価 ■入射粒子の表面反応予測 ■処理後の表面粗さ評...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム 製品画像

    製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム

    シミュレーション、統計解析、機械学習技術を活用し、設備のフィールドデー…

    シミュレーション技術と信頼性評価、設備保全に関する知見を組み合わせ、データ収集・可視化から分析、製品の改善や運転条件の最適化、予兆保全に関わる仕組みの構築を支援致しております。 主な対象設備としては ・各種プラント ・半...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【資料】ベイズ最適化 製品画像

    【資料】ベイズ最適化

    全体の形が未知の関数や微分ができない関数の最大値・最小値を探索的に求め…

    『ベイズ最適化』とは、全体の形が未知の関数や微分ができない関数の 最大値または最小値を、関数の形を推定しながら探索的に求める手法です。 未知の評価にとても時間やコストがかかるような状況で、いかに少ない 評価回数で好適な値を探せるかがポイントです。 当資料ではこの他に「FA分野での活用事例」や「システム連携・幅広い提案」 「Pipel...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • FaultTree+活用セミナーの動画を公開 製品画像

    FaultTree+活用セミナーの動画を公開

    機能安全対応でFaultTree+を用いる際に役立つ機能、及びFaul…

    【セミナーの概要】 1.システムFTAと定量評価のためのFTAについて 2.安全機構(SM)の表現方法について 3.共通原因故障の表現方法について 4.カットセット分析とその情報の見方 5.故障率DB(Prediction)連携、ライブラ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【資料】“Pipeline Pilot”の解析事例のご紹介 製品画像

    【資料】“Pipeline Pilot”の解析事例のご紹介

    「金属の輸送特性計算」をはじめ、「ガラス転移温度を求めるシュミレーショ…

    【掲載内容(抜粋)】 ■画像のセグメンテーション ■画像加工による機械部品表面の欠損検出 ■ツリーモデルでのデータ分類とモデル評価 ■パレート最適化を用いての薬品成分の改善 ■次元削減を用いての分子のクラスタリング ■相関行列やヒートマップの計算 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』 製品画像

    粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

    CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』

    『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS 2周波CCP 製品画像

    【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

    「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ 製品画像

    【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

    Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析 製品画像

    事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

    Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理 製品画像

    【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

    Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ 製品画像

    【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

    「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ 製品画像

    【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

    Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン 製品画像

    【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

    Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析 製品画像

    【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

    Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ 製品画像

    【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

    プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置 製品画像

    【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

    長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ 製品画像

    【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

    Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析 製品画像

    【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

    Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ(CC…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ 製品画像

    【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

    「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP 製品画像

    【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

    Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D 製品画像

    【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

    「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理 製品画像

    【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

    代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP(容量結合プラズマ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ 製品画像

    【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

    プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析 製品画像

    【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

    Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ 製品画像

    【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

    Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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  • 【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン 製品画像

    【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン

    カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社

  • 【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ 製品画像

    【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

    Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

    採用しており、複雑な反応過程を精度良く、   迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス   分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を   求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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