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ウェーハ交換時間の短縮!ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…
『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部 防水構造にVシールを使用しています。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット!
『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱って...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に最適!
『STWHR4156シリーズ』は、防水に対応したツインアームの4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に 適しております。 他にも当社では、さまざまなク...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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