研究開発用マルチレンジスペクトロメータ『INVENIO X』

『INVENIO X』は、次世代のINVENIOプラットフォームを完成させ、
先端研究開発用FT-IRの新たなスタンダードを確立します。

「DigiTect」検出器ならびに「Transit」第2試料室を併用することで、
最大7台の検出器を同時に搭載し、それぞれをソフトウェアから自由に
制御することができます。

これにより、遠赤外から可視／紫外までの幅広い領域をカバーすることが
可能となります。

【特長】
■新設計INTEGRAL干渉計
■5台の検出器に対応する革新的MultiTectテクノロジー
■ユーザーによる交換が可能なDigiTect検出器スロット
■専用検出器搭載、簡易透過／反射測定用Transitチャンネル第2試料室
■24ビットダイナミックレンジ・デュアルチャンネル ADC、
フルデジタル信号処理

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シリコンウェハー (Si ウェハー)表面の特性は、材料としての機能性に
大きく影響し、とくにウェハー表面に形成される各種薄膜の化学的評価が
ますます重要となっています。

当資料で紹介する「Wafer ATR」は、いわゆるMIRS法を応用した新たな
アプローチであり、フランス原子力庁電子情報研究所CEA-Letiの
グループとの研究成果を製品化したものです。

【掲載内容】
■はじめに
■Wafer ATR(ウェハーATR)
　・多重内部反射による感度の向上
　・測定時の必要事項
■測定例
■判別分析
■まとめ
■参考文献

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赤外顕微鏡「HYPERION II」は、従来の顕微FT-IR測定に加え、QCLによる
赤外レーザーイメージングに対応します。

当資料では、「FT-IRを用いた精密機械のQA/QCについて」をはじめ、
「関心領域（ROI：Regions Of Interest）の迅速な検出」や「赤外レーザー
イメージングを使用したROIの検出」などを掲載。

QCLとFT-IRとのコンビネーションは、ROIの速やかな検出と、それらの情報に
基づくより正確な定性分析を実現します。

【掲載内容】
■FT-IRを用いた精密機械のQA/QCについて
■関心領域（ROI：Regions Of Interest）の迅速な検出
■FT-IRとQCLのコンビネーションによるメリット
■赤外レーザーイメージングを使用したROIの検出
■FT-IRによる分析の信頼性の向上
■FT-IRとレーザーイメージング：強力なコンビネーション

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