エムエス機器株式会社

低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

『ThermoRack401』は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに好適です。 冷却能力400Wの当製品は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持。 駆動部はわずか2か所でささ…

消費電力大幅削減ペルチェチラー『TCubeEdge』

冷却能力最大290Wの『TCubeEdge』は優れた温度信頼性で機器のパフォーマンスを 最適化し、高い採算性をもたらします。 循環水の温度変化に素早く応答し、0℃～65℃の温度コントロールにお…

フロン対策はお済みですか？ペルチェチラー『ThermoCube』

冷却能力200W、300W、400W、600Wの『ThermoCube』は、ささやきのような静粛性・ 低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュール…

フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化され…

消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack1801』

『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化され…

プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201/1801』

『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに…

半導体製造装置用チラー

半導体製造プロセスで使用される多くの装置には、発生する熱を除去し、 一定温度を保つための冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社の『半導体製造用チラ…

Thermo Fisher Scientific社製の中古チラー

当社では、Thermo Fisher Scientific社製の中古チラーを純正部品を使って オーバーホールした、リファービッシュ品の販売を開始しました。 納期はご発注から納品まで約2か月、メ…

小型で軽量、低騒音、低振動、コンパクトな『ノンフロンペルチェチラー』

当製品は、信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が 開発した、独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常に コンパクトながら高い冷…

フッ素系溶媒対応チラー＜ペルチェ式・冷凍機式＞

フッ素系溶媒は絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の 温調用循環液として広く使用されています。 また不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の 冷却にも適しています…