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静電気力によって液剤をミスト化して機材に成膜する特殊なコーティング装置
『マイクロミストコーター』は、エレクトロスプレーという現象を利用し、 液体をミスト化して塗布するスプレーコーティング装置です。 金属、カーボン、硝子、蛍光体などの様々な微粒子、超微細な液剤、 …
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様々な物性製品をワンプロセスで乳化、分散、攪拌、混合、粉体溶解可能な真空ミキサー
『m-Highest V』は、低粘度から高粘度まで、様々な物性の製品を バッチ式オールインワンプロセスで、乳化、分散、攪拌、混合、粉体溶解が 可能な多機能高せん断真空ミキサーです。 ミキサー…
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オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現するオープンクリーンシステム
『KOACH（コーチ）』は、設置が簡単で囲わないため、作業がしやすい オープンクリーンシステムです。 作業空間のコンタミを素早く排出し、空間内の清浄度を維持します。 また、コンパクトなの…
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各種フィルタのマルチパス試験装置
『Bonavista社製マルチパスフィルター試験装置』は、各種フィルタの 濾過性能・濾過効率をISO規格に基づき短時間で正確に測定する試験装置です。 【特長】 ■テストシステム ■広い内部…
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H-Square社製半導体製造用、基板ハンドリングツール・装置
高品質で多種多様な基板搬送ツール
H-Square社製『基板ハンドリングツール・装置』をご紹介しております。 「自動ウエハ移載機」や「ウエハノッチ/フラットアライナ」、「ウエハリフタ」などコンパクトな卓上型自動装置および手動機を…
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樹脂製 プロセス用ウエハカセット・搬送用各種ウエハケース/ウェハートレー
ePAK社製の『プロセス用ウエハカセット・搬送用ウエハケース/ウェハートレー』をご紹介しております。 「プロセス用ウエハカセット」をはじめ、「搬送用ウエハケース/ウェハートレー」は1枚用、25枚…
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各種基板サイズに対応！ご要望のサイズ、形状、スロット数で設計・製作可能
『洗浄用カセット』は、基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能な 耐薬液及び耐摩耗性に優れたPTFE製カセットです。 ご要望の基板サイズ・形状・スロット数で製作が可能なほか、着脱可能な ハンド…
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接着剤なしで、あらゆる基板を瞬時に接着・剥離が可能なモバイル静電キャリア
当製品は、Eshylon Scientific社が開発した革新的なモバイル静電キャリアです。 専用キャリアに薄い基板を接着し補強することにより、壊れやすい基板を損傷なく ハンドリングします。 …
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よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域
必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空…
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最も普及している冷凍機の１つ
極低温冷凍機と超電導応用技術 エネルギーやコンピュータ、交通、通信、身近な医療まで、さまざまな分野で、様々な夢が語られている超電導応用技術。 この超電導とは、絶対温度（マイナス２７３℃）近くの極低温…
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高品質・コンパクトな高真空バルブ
HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。
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薬液の特性を考慮した管理手法の構築技術と薬液の精製技術
化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成
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有機培地に給液した排液を回収し、養液灌水再生液として供給する循環型システムです。
1.複合発酵型循環システム 2.金属イオン型循環システム
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蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生
77K GM冷凍機 CH-110は、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は、クランク機構を…
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クライオポンプ MARATHON CP-8 CRYOPUMP
HC-8E4又はF-70圧縮機1台で最大2台のクライオポンプを運転可能
MARATHON CP-8 CRYOPUMPは、取付フランジを ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-…
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クライオポンプ MARATHON CP-8LP CRYOPUMP
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
MARATHON CP-8LP CRYOPUMPは、取付フランジを ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。H…
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クライオポンプ MARATHON CP-12 CRYOPUMP
先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。
MARATHON CP-12 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠…
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クライオポンプ MARATHON CP-16 CRYOPUMP
スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。
MARATHON CP-16 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠…
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クライオポンプ MARATHON CP-20 CRYOPUMP
取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた取付けが行えます。
MARATHON CP-20 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠…
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よりクリーンな真空、より高度な真空制御、より広範な真空圧力領域
MARATHON CP-250LP CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産…
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温度変動が少ない！取付方向に制約のなし！冷媒（ヘリウム）を用いて温度を下げる冷凍機！
極低温冷凍機 4K GM-JT冷凍機は２段式冷凍機にジェールトムソン（JT)膨張部を追加した４K冷凍機です。４Kの冷凍能力はヘリウムの潜熱を利用しており、GM冷凍機やパルスチューブ冷凍機といった膨張型…
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冷凍能力1stStage@40K 50Hz：54W／60Hz：70W
極低温冷凍機 40K GM冷凍機 RDK-400Bは、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法…
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２段蓄冷材シールに工夫を行った、取付方向に制約のない冷凍機です。
極低温冷凍機 4K GM冷凍機 RDK-408D2は、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法…
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クランク機構を利用してモーター回転運動を往復運動によって変換させます。
極低温冷凍機 4K GM冷凍機 RDK-415Dは、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は…
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蓄冷材がシリンダ内を往復運動しないことで、冷凍機運転時の振動が小さい
パルスチューブ冷凍機は圧縮機、蓄冷機およびパルス管という単純な管によって構成されます。GM冷凍機との大きな違いは蓄冷材がシリンダ内を往復運動しないことで、冷凍機運転時の振動が小さいことです。また蓄冷材…
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