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幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします。
半導体やFPD製造を始めとする様々な製造プロセスに用いられるガスの、測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツ・サブシステムの開発・製造・供給、また反応性ガス発生器や電源の開発・製造・供給を行っている…
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非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現！高精度圧力測定システム
『高精度圧力測定器』は、キャパシタンス・ダイアフラム・センサ技術と ソリッドステート・エレクトロニクスをベースにしたシステムです。 先端プロセス/計測の現場で求められる機能を搭載し、製造ライン…
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化学兵器および有毒産業化学物質の連続モニタリングを行う大気環境アナライザ
『AIRGARD CWA/TIC』は、フーリエ変換赤外分光法を用いた超高感度の ガスアナライザで、有毒ガスを迅速に検出します。 ほとんどのCWAやTICについて、有毒なIDLHレベルを下回る …
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圧力トランスデューサ Type AA07A/Type AA08A
お客様のニーズに合わせてカスタム構成可能なビルディングブロックデザインを提供
『Type AA07A/Type AA08A』は、優れた価値および性能を有した 高精度の圧力トランスデューサです。 Incoloyを使用した堅固なセンサ筐体による極めて低い熱係数で 幅広い温…
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標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流…
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優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ
『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で 再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の 絶対圧型キャパシタンスマノメータです。 最も安定性…
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FTIRベースのバルクプロセスガス分析用高感度アナライザ！
「MultiGas TM Purity」は、高純度バルクプロセスガス中のppbレベルの不純物を検出可能なFTIRベースのアナライザです。 高分解能のアナライザによるバルクガス中の不純物の特定に威力を…
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インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon（R）』
NF3最大流量8slm、独自のPEOプラズマブロック設計によりプロセス性能と寿命を向上！
「Paragon（R）」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。 CVDおよびALD／ALEプロセ…
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高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！
「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。 高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。 これにより…
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幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします。
半導体やFPD製造を始めとする様々な製造プロセスに用いられるガスの、測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツ・サブシステムの開発・製造・供給、また反応性ガス発生器や電源の開発・製造・供給を行っている…
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高精度絶対圧真空計
■F.S.レンジ：1.33×10<SUP>1</SUP>〜3.33×10<SUP>6</SUP>Pa ■精度：読み値の0.05〜0.12％ …
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150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現
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遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置
装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスで…
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