3M（TM）金属イオン除去フィルター ※オンライン説明対応

薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能です。

リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。

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