詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。 LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min（空気ベース）になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計（コントローラ内蔵）との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します；DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです 独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 　 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 　 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 　 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

各種液体流量を精密計測します 0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、 　　高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-430A 液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能 ○最高200℃の高温加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション（50CCM-4SLM) ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。