自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！ 『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

サンプルをセットし、分析を開始すると、論文投稿用の画像や定量データを収集！ 『Lionheart LX』は、習得や使用が複雑で高価な特注の自動顕微鏡に代わる、 手頃な価格の製品として設計されています。 コンパクトで接眼レンズがないハードウェア設計であるため、オペレータが 快適に使用でき、人間工学的なストレスを軽減。 「Gen5 ソフトウェア」を組み合わせて使用すると、Augmented Microscopyに よって画像の撮影、処理、分析を完全に自動化できます。 【特長】 ■研究成果を拡大し、時間とコストを節約 ■論文レベルの画像とデータをすぐに取得可能 ■20種類以上のフィルター/LEDキューブを使用できる ■幅広いアプリケーションに対応できる ■迅速かつ簡単に設定および操作でき、習得も容易 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。