【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

紫外線殺菌シミュレーション　サービス

その紫外線（UV-C)本当に殺菌出来ていますか？見えない光を可視化する…

る場所、部屋などのサイズが大きく係わります。 弊社では、部屋や対象物へ、どの位の紫外線強度が当たるのか？ そして、対象とする細菌の積算殺菌量を調べ、最終的に照射時間を導き出します。 このシミュレーションにより、紫外線が照射されていない場所も可視化することが出来ますので、事後の作業の軽減にもつながります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラ・ポルタ

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

窒素ガス発生装置　N2【コストシミュレーション実施中】

今の窒素ガス料金をもっと安くしませんか？コスト削減やボンベ交換の手間を…

対応）とお手軽な分離膜方式の双方ラインアップ ◎窒素ガス購入費76％コストダウン、年間292万円のコスト削減事例あり ◎メンテナンスの一元管理も可能 ◎窒素ガス発生装置に切り替えた場合のコストシミュレーションを実施中 ※下記の関連リンクで、76％のコストダウン・年間292万円の削減事例をご確認いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

フロア型超遠心機『Optima XE & XPNシリーズ』

大量サンプルの超遠心分離やGLP/GMP対応を強力にサポート

ーク環境を実現 ○シリアルナンバーによるロータ履歴＆運転履歴管理 ○ユーザIDパスワード管理による3階層アクセス設定 ○運転状況リアルタイムプロット機能 ○パワーアップしたeXpertシミュレーション機能 ○E-メールアラート機能 ○eXpertソフトウェアによる遠心シミュレーション機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ベックマン・コールター株式会社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

《活用実例集》回転式セラミック膜ろ過機　三菱ダイナフィルタ

《ナノ粒子スラリー処理にお悩みの方、必見！》様々な処理実例をご紹介

事例３：溶媒置換操作（原液溶媒から置換溶剤へのろ室内溶媒置換試験） またサンプルテスト実施も承っております。ラインナップの最小型番を テスト機として使用するため、導入いただいた際のシミュレーションを より具体的に行っていただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 三菱化工機株式会社　産業機械

【新開発】分注装置『EDR-384GX』

96ch 10-1200μLヘッド/384ch 1-100μLヘッドで…

ロプレートを最大100枚収納できる3連スタッカーを左右2基ずつ、 最大4基設置可能。新採用のグリッパー形状によりプレート搬送の安定性が向上します。 また、作成したプログラムはソフト上でシミュレーションを行い、 エラーチェックができます。 【特長】 ■マイクロプレート400枚による大量連続処理が実現可能 ■プレートグリッパーはプレート底面に爪を入れることが可能な安定性重視の構造 ...

メーカー・取り扱い企業： バイオテック株式会社

超音波とファインバブル（マイクロバブル）による洗浄技術

超音波の伝搬状態を測定・解析・評価する技術に基づいた、超音波洗浄技術

　超音波利用に関する出力の最適化技術として開発しました。 注：パワー寄与率、インパルス応答・・・ 超音波の測定・解析に関して 　サンプリング時間・・・の設定は 　オリジナルのシミュレーション技術を利用しています この技術を 　超音波システム（洗浄、攪拌、加工・・・）の最適化技術として 　コンサルティング対応しています。 超音波の伝搬特性 １）振動モードの検出（自...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波洗浄機のダイナミック液循環システム（コンサルティング対応）

超音波洗浄機の最適化技術

　超音波の各種相互作用の検出により実現しました。 注３：パワー寄与率、インパルス応答・・・ 　超音波洗浄機の測定・解析に関して 　サンプリング時間・・・の設定は 　オリジナルのシミュレーション技術を利用しています なお、この技術を 　超音波システムの液循環方法の改良技術として 　コンサルティング提案・実施対応しています。 超音波水槽の構造・大きさと 　超音波（周波...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

音圧データ解析による、超音波のシステム技術（コンサルティング）

目的に合わせた超音波の制御を可能にする技術です。

」 を組み合わせることで解決し、 対象に最適な超音波の利用を広めたいと思います ２）どのようにして解決するのか？ 超音波システム研究所の技術 ＊超音波の測定・解析・評価技術 ＊シミュレーション技術 ＊水槽の改良による超音波の利用効率の改善技術　 ＊広域超音波の利用技術　 ＊超音波による（金属・樹脂）の表面改質技術 ＊複数の超音波を目的に対して適切に利用する技術 　　非常に...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

蒸留器での困ったあるある！対策技術資料～シリカ・ランニングコスト

蒸留器によるシリカやランニングコスト、省エネ対策などお困りではないです…

で、電気代を１／１６に！ ・電気料金の高騰に困っている ・カーボンニュートラル／環境への取り組みが必要 な方におすすめです。 詳細は下記リンクよりご覧ください。 電気代の削減シミュレーションも可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： メルク株式会社ライフサイエンス（シグマ アルドリッチ ジャパン合同会社）

音圧測定解析に基づいた、超音波技術のコンサルティング対応

キャビテーションと音響流の最適化技術による、超音波洗浄技術のコンサルテ…

　超音波利用に関する出力の最適化技術として開発しました。 注：パワー寄与率、インパルス応答・・・ 超音波の測定・解析に関して 　サンプリング時間・・・の設定は 　オリジナルのシミュレーション技術を利用しています この技術を 　超音波システム（洗浄、攪拌、加工・・・）の最適化技術として 　コンサルティング対応しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

最大35GHz ハイパーログアンテナ（指向性、パッシブ、受動）

テフロン素材上に、パターンを形成することで、組み立て不要で、携帯にも便…

【機能紹介】 ＜秀逸なデザインと計量を実現＞ 素材から形状まで、入念なコンピュータ・シミュレーションと無数の試作モデルの評価が、従来のポール型アンテナの常識を破り、この軽量で優美なデザインとして結実しました。その美しさの中には、アンテナの品質や性能を、維持するために本体をプラステックにより完...

メーカー・取り扱い企業： ウェーブクレスト株式会社

機能性面状フィルムヒーター

透明・薄型・低消費電力・熱応答性・面均一発熱・低コスト・フレキシブル性…

自動車・鉄道・住設・医療業界をはじめ温めたい用途向けに、各種導電フィルム・導電ペースト・金属箔等のマテリアルと、回路設計からシミュレーション、印刷・エッチング・貼り合わせ等の加工技術を融合して、お客様のご要求に沿った面状フィルムヒーターを提案させていただきます。...

メーカー・取り扱い企業： 千代田インテグレ株式会社

焼鈍炉（焼きなまし炉）

急冷、徐冷時の精密な温度コントロールが可能

設計時に熱計算のシミュレーションや電気容量の計算を行うことで炉内の温度を正確に制御することができ、ご希望通りの製品の出来ばえや特性を得ることができます。サンファーネスでは、AMS規格（米国航空宇宙規格）にも対応可能な技術で、...

メーカー・取り扱い企業： サンファーネス株式会社

低濃度二酸化塩素ガス発生装置『SCL-3019LDC』

紫外線を照射し、低濃度二酸化塩素ガスを噴霧！一様流エアシャワーに設置い…

込んだ 低濃度二酸化塩素ガス発生装置です。 紫外線を照射し、低濃度二酸化塩素ガス(18ppb以上)を噴霧。 人や物への付着菌や、設置空間の浮遊菌を除菌します。 また、事前に濃度シミュレーションで濃度計算し、任意の空間の濃度を コントロールできます。さらに、アワーメータにてカートリッジ交換時間を お知らせすることができます。 【特長】 ■低濃度 ■人や物への付着菌や、設...

メーカー・取り扱い企業： 三宝電機株式会社

ENGINEERING～エンジニアリング～

4つの"What"にお答え！マツイマシンのエンジニアリングについて解説

【取扱製品】 ■シミュレーション計算（マテバラ構築、物性推算） ■ミストセパレーター ■MCディストリビューター ■ディストリビューター（磁製） ■MCパック ■MC-Cパック（磁製） ■カスケード ミニリング ...

メーカー・取り扱い企業： マツイマシン株式会社 大阪本社

低圧ガス圧力細胞刺激装置AGPシリーズ

培養細胞への眼圧・血圧などの圧力負荷刺激装置

細胞に0～350mmHgの圧力範囲で2種圧力値設定し、加減圧できます。 iPS由来網膜細胞・腎臓メザンギウム細胞など、眼圧・高血圧状態のシミュレーションが可能です。 【特徴】 ・0～350mmHgの圧力範囲で定常圧・加減圧ができます。 ・連続加圧モード、加圧・減圧繰返しモード ・CO2インキュベータ何設置して長期間の加圧培養が可能...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社

鋳込みヒーター

木型から全て社内一貫生産。一貫生産だからこそのカスタムオーダーメイドが…

当社では、シーズヒーターに曲げ加工を施したうえで、 アルミや真鍮などに鋳込んだ『鋳込ヒーター』の製造を手掛けています。 温度シミュレーションによって適切なヒーター設計が可能なほか、 鋳型の製作から一貫して対応しているため、複雑形状であっても 均一かつ高効率な加熱を行なえるヒーターの作製が可能です。 また、ヒーター、冷却パイプ...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

減圧脱水乾燥装置とは

可能な限り水分を蒸発させ、濃縮・乾燥！減圧脱水乾燥装置のコストメリット…

限り水分を蒸発させ、濃縮・乾燥させる装置です。 産廃排出量削減、産廃処理費の大幅コスト削減を実現できます。 当社では、各種廃液の分析ならびにコストダウン、ゼロエミッション試算、 シミュレーション、設計、施工、販売を承ります。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■工場から排出される濃厚廃液を減圧下で加熱 ■効率よく、可能な限り水分を蒸発させ、濃縮・乾...

メーカー・取り扱い企業： 東栄産業株式会社

インペラ『EPOX-R』

CFDシミュレーションとパイロットプラント試験を利用！ブレード形状を最…

『EPOX-R』は、耐損耗最適化された特殊なブレード形状のインペラです。 POX(Pressure OXidation)プロセスで必要な物質移動を提供し、 インペラの損耗を低減するために開発。改良されたブレード形状 により渦流出を妨げ、その結果、侵食の深刻な影響を防止。 これにより、コーティングなしでも損耗率が劇的に低下し、 POXオートクレーブの耐用年数が大幅に延びます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エカート株式会社 日本支社

熱風乾燥装置

用途にあわせて選べる様々な形状のノズルをご用意！

より、 インキ中の溶剤を蒸発させて、固形成分を基材に固定する装置です。 優れた乾燥能力を持ち、連続的に高速でかつ均一に乾燥させることができ ます。 当社の乾燥装置は、独自の乾燥シミュレーション及び流体解析に基づいて設計 され、ノズル部分は用途に合わせて適切な選択が出来るよう、多種多様な 形状のノズルをご用意しています。 【特長】 ■優れた乾燥能力 ■連続的に高速かつ均...

メーカー・取り扱い企業： 熱技術開発株式会社

流体撹拌装置『α-HT』

空調省エネ向け！冷媒と冷凍機油を強力に撹拌することにより省エネ効果を実…

設定温度への到達が早まり、コンプレッサの負荷率(時間)が 下がった分消費電力が削減され、省エネ・コストダウンを実現。 24時間空調を稼働されているお客様、ぜひご検討ください。 まずはシミュレーションにより期待できる効果ご確認いただけます。 【特長】 ■撹拌装置自体、電気などの動力は必要なし ■室内機と室外機をつなぐ配管に溶接で容易に接続できる ■電気代約20％程度の削減効果が...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

Montz モンツ会社案内

アルコール, バイオエタノール, 濃縮, 還元, 溶剤回収

〇 事前調査 ・コンセプト開発, フィージビリティ・スタディ, 事前設計 〇 基礎エンジニアリング ・マスバランス、エネルギーバランス, プロセスフローシート、P&IDの作成, プロセス設計と装置仕様の決定, 測定と制御計画, プロセス記述 〇 サービス ・プロセス最適化, プロセスシミュレーション

メーカー・取り扱い企業： コークアジアパシフィック合同会社 コークグリッチ Koch Glitsch

FLSmidth KREBS「ハイドロサイクロン」

耐食性を備えた高精度な湿式サイクロン分級機！微粒子分離、油水分離に！

材質：樹脂、炭素鋼、FRP、セラミック、その他対応可 対象物：スラリー（固形分粒径数μm～数100μm）、油水混合物 耐食性：耐酸、耐アルカリ、耐摩耗、耐熱、耐腐食対応可 高精度なシミュレーションを用いて、お客様のご要望に合わせた条件で分級結果を正確に予測し、過不足ない機種選定のご提案を差し上げます。 詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本エリーズマグネチックス株式会社 浦安本社・工場、名古屋営業所、大阪営業所

『Simerics MP for SOLIDWORKS』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期間の短縮や品質の向上、コスト削減につながります。 【特長】 ■流れ・乱流・熱伝導と熱対流など、幅広いシミュレーションに対応 ■CADサーフェスから直接かつ自動的に計算メッシュを生成 ■非常に高速で正確、堅牢なソルバー ■マイクロメートルスケールの形状など非常に困難な問題の反復計算も安定 ■物理的なテ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

紫外線殺菌装置のカスタム・オーダー設計製造

紫外線殺菌装置を製造している弊社では、貴社の殺菌・感染対策装置の設計製…

対象物を何秒で殺菌したいか？ それには、紫外線強度が重要になります。 また、安全に使用出来る様、配光シミュレーションも確認して設計製造いたします。 例えば、こんな要望 ・備え付けのスリッパラックを殺菌したい。 ・車両内部や、影に成る所を殺菌したい。 ・製造工程の途中で、製品を殺菌したい。 ・製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラ・ポルタ

技術資料vo.1『信頼性中心保全(RCM)とCMMSとは』

【無料進呈】メンテナンス業務の管理・改善及び効率化に寄与するCMMSや…

科学技術・エンジニアリングシミュレーションの ソフトウェア開発・販売からコンサルティングまで幅広く手がける当社から、 ノウハウを凝縮した技術資料『信頼性中心保全(RCM)とCMMS』を無料プレゼント中！ 信頼性中心保全とは？...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

技術資料vo.2『0からはじめるIoTで予知保全』

【無料進呈】IoTを活用した予知保全を実現するための最初のステップを紹…

科学技術・エンジニアリングシミュレーションの ソフトウェア開発・販売からコンサルティングまで幅広く手がける当社から、 ノウハウを凝縮した技術資料『0からはじめるIoTで予知保全』を無料プレゼント中！ 予知保全を行う際に何から...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

その窒素ガス料金もっと安くできるかもしれません！無料診断実施中！

窒素ガスの調達コストが上昇しているのはご存知ですか？

上昇していることを知らなかった… ■今の窒素ガスの料金が高いのか安いのか分からない… ■業者任せで正確なコストを把握できていない… 当社では窒素ガス発生装置に切り替えた場合の、コストシミュレーションを無料で実施しております。 お気軽にお試しください。...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In C...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

エッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社