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コンパクト設計が可能!溶接ベローズ並みの高寿命を実現する高性能成形ベロ…
『LFB/SFB』は、入江工研が取り扱う高性能な成形ベローズです。 「LFB」は、溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回)した ロイヤル成形ベローズです。 優れた耐食性を有しており、Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止。 65...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!入江工研のベローズ式直線導入機
『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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片側回転フランジのため、取付けが容易!3種類の接続形式に、手動及び自動…
『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空 ...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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コンパクトタイプの直線導入機!基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!
『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただ...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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コンパクトタイプの回転導入機!基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!
『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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