マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮＩＳＴ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズ

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴ…

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケー...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７〜５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００〜１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサＵ７０１／７０２シリーズ

薬液流量センサＵ７０１／７０２／７０５／７０６シリーズ低粘度の液体を１…

この製品シリーズは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。Ｕ７０５／７０６については...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　テフロン製　液体用流量センサ　１０６Ｆ

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍ…

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続は１．８ｍのケーブル...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｕ７０７／Ｕ７０８

薬液流量センサＵ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの…

Ｕ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの小さな流量から〜１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気ケーブル長、...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部