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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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