ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

低供給圧力 高真空度形 多段ノズルエジェクタ『真空発生器VVV』

0.35MPaの低供給圧力で、高真空・大流量を確保する多段ノズルエジェ…

『真空発生器VVV』は、ワーク吸着搬送をはじめ、真空包装や脱泡・脱気に 適した低供給圧力 高真空度形の多段ノズルエジェクタです。 デジタルプレッシャゲージで真空度の確認が容易。 また、排気ポート仕様にサイレンサ付を選択の場合、ストレートに エルボブロックが付属されておりま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

【小型・大流量・静音】Disc Pump(マイクロポンプ)

超小型・軽量であるにも関わらず大流量で比類なき静粛性・無脈動を備えた高…

はこの度数々の輝かしい実績のあるDisc Pumpを新たに製品群として向かい入れました。 ピエゾ素子駆動によりサイズが小さい(直径29mm×厚み11mm)にも関わらず、真空～60kPaの幅広い圧力レンジ、流量は何と最大で2.0L/minで吐出圧力・流量の精度0.1%以下を実現しています。 人の聞こえる音域～20kHzより高い音域で駆動するため、駆動音は全く聞こえません。その駆動方式から脈動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社

中大型ポンプ用圧力範囲表

ご要望の到達圧力や排気速度から、最適なポンプを選定頂けます。

低真空領域、中真空領域での圧力範囲をカバーするポンプを表にしております。記載以外のポンプや特殊な条件がある場合は、個別に［お問い合わせ］願います。...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

ニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、Ro...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルゲージ『M-320XG』

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチと...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

ション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

海外製ボンベ対応　ボンベ変換継手

海外ボンベにも対応可能

ボンベと圧力調整器とを接続する際に、口径が合わない場合があります。 特に海外製のボンベと国産の圧力調整器との接続は、難しい場合があります。 圧力調整器メーカでは海外ボンベ対応の入口継ぎ手を用意していない場合...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

メカニカルブースターポンプ EHシリーズ

メカニカルブースターポンプEHシリーズは、310～4915m3/hの排…

ら選択できます。 ＜特長＞ ● 排気時間は非大気駆動型の1/2 流体動力継手によりバッキングポンプ（ロータリまたはドライポンプ）と同時に起動し、大気圧から排気が出来ます。従来の排気システムでは通常圧力が1000Pa以下になってからメカニカルブースタのスイッチをONにし、運転を開始していました。この場合に比較すると排気時間はおよそ50％も短縮されます。 ● コンパクトで経済的 EHシリーズは、バイ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

Airpel（エアーペル）エアーシリンダー

業界最高0.0015MPaから駆動可能な複動形エアーシリンダー！超低出…

○広範囲の使用圧力に対応（使用圧力：0.0015～0.7MPa） ○広範囲の周囲温度に対応（周囲温度：-55～+150℃） ○エアーフィルムによる超低摩擦（静止摩擦損失：出力の1～2%以下） ○使用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空制御装置『VP600-PX』

圧力/真空検査のための「センサベース」の包括的なソリューション！

日本CBLが取り扱うFT SYSTEM社製の真空制御装置『VP600-PX』を ご紹介します。 密閉容器内の真空状態または正しい内部圧力をチェックする 品質基準への製品コンプライアンスを保証するのに理想的です。 漏れや準拠していない製品を特定するための圧力/真空検査のための 「センサベース」の包括的なソリューションです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本CBL株式会社