コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『ベローズ式直進導入機　手動タイプ(ILD-M)』

基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機

『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。 【特長】 ■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。 また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、 お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』

コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社