【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

精密プレッシャーレギュレータ『MODEL 6600SERIES』

耐圧は0.8MPa(G)！一次側圧力変動、二次側圧力変動に対して、再現…

『MODEL 6600 SERIES』は、ノンブリード仕様の精密プレッシャーレギュレータです。 パネル取付けに好適な入口出口配置。一次側圧力変動、二次側圧力変動に対して、 再現性±1％の高い制御性があります。 また、最大流量10L/min、20L/minで、設定圧力(気体)は二次側0.01～0.6MPa(G)と なっております。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

CADでカンタン流体解析『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プレッシャーレギュレータ『MODEL 6700 SERIES』

設定圧力(気体)は二次側0.01～0.6MPa(G)！当社が取り扱うノ…

『MODEL 6700 SERIES』は、最大流量50L/minの大流量用プレッシャー レギュレータです。 ノンブリード仕様で、環境温度は5～60℃。最低動作差圧は0.05MPaです。 また、一次側圧力変動、二次側圧力変動に対して、再現性±1％の高い 制御性を有しております。 【標準仕様(一部)】 ■一次側最大圧力：0.9MPa(G) ■二次側設定圧力 　・6700A：...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

低圧力調整用精密プレッシャーレギュレータ『MODEL 6610』

一次側最大圧力は0.4MPa(G)、二次側設定圧力は0.01～0.15…

『MODEL 6610』は、ロックナット付構造の低圧力調整用精密プレッシャー レギュレータです。 一次側圧力変動、二次側圧力変動に対して、再現性±1％の高い制御性を 有し、最低動作差圧は0.1MPa。 また、接ガス部ノングリス仕様で、設定圧力(気体)は二次側0.01～0.15MPa(G)と なっています。 【標準仕様(一部)】 ■一次側最大圧力：0.4MPa(G) ■二...

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フローメータ内蔵型ガス混合装置『GM SERIES』

優れた安定性と再現性！幅広い分野で数多くの実績があり、高く評価されてお…

『GM SERIES』は、KOFLOCのメカニカルな精密流量制御バルブとフロー メータによるガス混合装置です。 本装置には、気体の微少流量範囲の精密な流量制御を可能にした定流量 ユニットが内蔵されております。 流量設定は、相互干渉無く確実容易で、本装置に接続する負荷の圧力に 変動が生じても安定した混合ガスが一定供給されるようになっております。 【特長】 ■安定性、再現性に...

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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CAD上でカンタンCFD『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

クリーンパワーガス発生装置『HH-1001000MSX』

光沢のある白色！重量も軽量でキャスター付きの為、簡単に持ち運びができま…

『HH-1001000MSX』は、ガスの発生量が平均1,000cc/分もある本格的な 酸水素混合ガス発生装置です。 装置の外形ケースは材質が丈夫で軽いFRP製となっており、色も光沢のある 白色で、重量も軽量でキャスター付きの為、簡単に持ち運びが可能。 またヒーターの設置にて、室温が20℃以下と低い冬季でも、 運転開始と同時に規定量のガスが発生します。 【特長】 ■ガスの発...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【資料】酸水素混合ガス発生装置の治験データ収集開始のお知らせ

「酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果」などを掲載してい…

当資料では、酸水素混合ガス発生装置「HH-1001500MSX」の治験データ 収集開始のお知らせについて紹介しています。 「酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果」をはじめ、 「中国で治療に水素酸素混合ガス吸入が導入されている」や「酸化ストレスと 健康」などを掲載。 ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■酸水素混合ガス発生装置「HH-1001500MSX」の治験...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【資料】酸水素混合ガスの働きと癌細胞

「癌細の増殖を防ぐ方法」や「酸水素混合ガスが適している理由」などを掲載…

当資料では、酸水素混合ガスの働きと癌細胞について紹介しています。 「癌細胞が行ったエネルギー対策」をはじめ、「癌細胞の弱点」や 「癌細の増殖を防ぐ方法」「酸水素混合ガスが適している理由」などを掲載。 ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■癌細胞が行ったエネルギー対策 ■癌細の本質 ■癌細胞の弱点 ■癌細の増殖を防ぐ方法 ■酸水素混合ガスが適している理由 ※詳しくは...

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