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49件 - メーカー・取り扱い企業
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広く鮮明な有効視野!透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…
『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用可能。 特にサファイア製ビューイングポートは、紫外線領域(短波長)の電磁波や 粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。 【特長】 ■広く鮮...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし!ハードプロセス装置に対応し…
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上(Niフィラメント採用など) ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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低・中真空領域の測定に好適!スタンダードタイプ、セットポイント付タイプ…
『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、 高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。 再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。 各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、 様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■5×10^-2Paから大気圧 ■様々な産業で使用可能 ■粗引き系の圧力測定、排気系の...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用!オス・メスなしの…
当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。 【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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取付場所の選定が容易!プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…
『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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構成部品はすべて非磁性体!真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…
『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品は...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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3kg・cmから最高100kg・cmの高トルクタイプのものまで各種ご用…
当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して おりませんので、超高真空系に適しています。 【特長】 ■大きな伝達トルク ■長寿命 ■ベークアウト可能 ■アウターロ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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優れた許容加熱性!400℃または450℃までベークアウトが可能
『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。 全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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豊富な接続フランジ!バルブボディはステンレス鋼を使用
『Vシリーズ』は、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブで バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用しています。 標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、 開閉用のポジションセンサスイッチ(磁気センサー)を装備。 バルブボディはステンレス鋼を用いており、特殊な接続フランジも容易に 溶接接合できます。また、バルブ内部部品洗浄作業及び保守部品交換作...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ICFフランジ付きで超高真空まで使用可能!種類が豊富ですので、用途に合…
装置を組み立てるにあたり、配管接続のためいろいろの素子を用います。 当社の取り扱う接続素子は、ICFフランジで接続する系列のもので、 超高真空装置本体およびそのあら引き系に使用されています。 フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタの ラインアップがあります。 【特長】 ■種類が豊富 ■用途に合わせて使用可能 ■ICFフランジ付き ■超高真空まで...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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先端半導体パッケージの非破壊検査に対応可能な 高解像度の X線源
『G-511シリーズ』は、素早い画像取得ができ、ターゲットの 回転調整不要の透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ウォーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献します。 【特長】 ■ 110kV昇電圧1秒以内 ■ ターゲットメンテナンスフリー ■ ウォーミングアップ3分以内 ■ X線管寿命の自己診断機能 ■ オプションで1...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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社会の発展に貢献!超真空技術を用いた高付加価値製品を提供
当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの 一員として、グローバル...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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モリペースト500は低速で重荷重の個所の潤滑に有効!シースヒータなどの…
当社が取り扱う『補助材料』をご紹介致します。 「モリペースト500」は、MoS2微粒子とベース油(鉱油)を高濃度に配合した ペースト状製品。機械部品の嵌合部、摺動部、ネジ部に少量塗布するだけで 摩耗、かじり、焼付きを防止します。(真空内用ではありません) 他に、「シースヒータ」や「ボルト、ナット、ワッシャ」などの ご用意があります。 【モリペースト500 特長】 ■化学的...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ターゲットの回転調整が不要!高解像度で高速撮影を可能にする工業用非破壊…
『G-311シリーズ』は、高輝度で高拡大率、素早い画像取得が 可能な透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ターゲットの回転調整が不要で、装置稼働率が向上。 立上げ時の長い待ち時間が解消され、長期保管後の エージングが不要です。 【特長】 ■海外運用に対応 ■高倍率で高撮影スループット ■計画的な装置保守に貢献 ■10Wで4μmを解像 ■CE、RoHS対応 ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最…
温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト ・消費電力0.5W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【ラインアップ】 ■M-342DG-1...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社