表示器（1ch/3chタイプ）『M-601GC/603GC』

RS232Cインターフェース標準装備！優れた操作性で見やすい3タイプ表…

『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。 【特長】 ■ゲージ自動認識 ■大型デジタルLCD表示 ■RS232Cインターフェース標準装備 ■優れた操作性 ■見...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』

パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な ガス分析システムです。 パソコン制御による容易な測定が可能。 用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの 組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。 【特長】 ■分析計は5機種より選択可能 ・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速）...

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POWER Ecoシリーズ　高性能省エネルギー型クライオポンプ

小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性…

POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力...

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ヘリウムリークディテクタ『HELENシリーズ』

ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能！高い感度、安定性、応…

『HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポンプを搭載した「M-212LD（-D）」、ハイパワーの「M-222LD」 など、さまざまな製品をご用意。 業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。 【特長】 ■イージー...

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真空部品『クイックカップリング』

クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工！加熱温度により"O…

当社では、取扱いが便利なISO規格対応の真空フランジを取り扱っています。 ISOではこれをQuick-release Couplingと呼び、呼び径10、16、25、40の 4種類の小型フランジについて規格化されています。 いずれもボルトは用いず、クランプで容易に着脱できる機能的な フランジです。また、このフランジを用いた各種の接続素子も 用意していますのでご利用ください。 ...

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四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』

高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトラ…

『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。...

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アイソレイトバルブ『V-025SV』

特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油...

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【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧い...

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四重極型質量分析計（高速測定/高感度測定）

2種類のイオン源から選択可能！高速測定/高感度測定が可能な四重極型質量…

キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な 高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。 m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や 8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。 UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能なほか、 低ガス放出のイオン源を採用...

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真空部品『電流端子』

超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れていま…

当社では、セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性を持っています。 そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、 高い信頼性を得ています。 【特長】 ■実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応 ...

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真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接続可能。 そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても 使用できます。 【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧...

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ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■...

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真空ポンプ『フォアライントラップ』

簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します

『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。...

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真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長...

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キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■...

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