技術情報誌 202305-02 加熱in-situ TEM

加熱in-situ TEMを用い、半導体デバイスの熱処理中の材料の構造…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化に関する新たな知見を得て、膜質制御などプロセス開発に役立てることが可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 202003-01 リチウムイオン電池材料

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 in situ分析技術は、充放電中の電極活物質の構造変化解析や電池内での反応分布を直接観測するために不可欠であり、この技術を活用することで、材料開発やセル設計を進める上で、重要な知見を得ることができる。また、電池を駆動させながら、ということに限らず、電池材料の熱安定性や化学構造の温度依存性を知ることは、製品の性能改善のために有効である。本稿では当社で取り組んでいる、充放電や温度変化など...

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技術情報誌 202305-01 水銀プローブによるSiO2膜評価

Si基板上のSiO2膜の電気特性と膜質を、成膜方法ごとに詳細に調査した…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 水銀プローブ（Hg-Probe）および各種物理分析手法を用いて、Si基板上に異なる方法で成膜したSiO2膜の電気特性と膜質との関係を詳細に調べた。熱酸化SiO2膜と比べて、化学気相蒸着法（CVD）で成膜したSiO2膜は水分や水酸基含有量が高く、SiO2ネットワーク構造の...

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技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例...

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技術情報誌 202101-03 エポキシ樹脂の熱硬化

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 東レリサーチセンターでは、高速での昇降温が可能な高速カロリメトリーの技術開発に力を入れており、同手法の開発者らと共同で高分子材料を中心に多く論文投稿・学会発表を続けてきた。本稿では熱硬化性樹脂を対象として、樹脂が硬化する過程におけるガラス転移温度の上昇をリアルタイムで観測する技術を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．熱硬化性樹脂への適用 ３　おわりに...技術情報誌The ...

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