真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

Supcold社は2011年に創業した新しい会社ではありますが、この分野では経験豊富なスタッフが事業に携わっています。基本設計は米国で、使用している主要部品の多くは米国、ヨーロッパ製を使用し、中国製ではありますが冷凍能力とその品質は、米日の水蒸気ポンプメーカー製と同等以上の性能を有しています。装置価格のみならず、メンテナンス（修理）費用も安価で迅速なサービス体制を有しています。 また、新冷媒を採...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置

コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…

ーイオンビーム）装置の特色】 ○試料保持ステージ ・被対象物にあわせてステージ作製し、X-Y-Z、自転、入射角を変更できる ・X-Y スキャンを行うことで、ビーム照射高均一性が得られる ○高真空動作圧 ・アガスクラスターイオン生成室とビーム照射室が分かれているため、照射雰囲気は10－3Pa台の高真空に保たれ、コンタミ発生やプラズマダメージを対象物表面に与えない ○反応性ガス ・対象物...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

オートプレッシャー・コントローラー　Multiple-APC

オートプレッシャー・コントローラー　Multiple-APC

各メーカー品との互換性を持ち バルブには安定したMFCを搭載するオートプレッシャー・コントローラー　 【特徴】 ○互換性のあるため、ユーザー様でも設置交換が可能 ○現在使用中の真空ゲージを活用するため 　既存品ゲージを無駄にすることがない ○APCの交換をオートプレッシャー・コントローラーで代替することで 　費用を大幅に削減 ○AC85V〜AC264Vの電流に対応...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

【装置仕様概略】 ○エッチング用イオンソース →DC 11cm ION SOURCE →SOLUS POWER SUPPLY ○真空チャンバー →到達圧力：6.0×10-5Pa台 →動作圧力：3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板～Max 6inch...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

お客様用途に合わせて、研究開発用、量産用に装置設計いたします。 【装置特長】 ・プロセス動作圧10-2Pa台(10-4Torr台) 　高真空成膜可能 ・コンタミネーションが少ない ・無加熱成膜可能 ・高密度膜 ・反応性成膜可能 ・イオンビームアシスト追加可能 ・膜厚等の制御性良好...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

消耗部品

各種消耗部品を取り扱っております。

真空技術の専門商社として各種消耗部品を取り扱っております。...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社