導入機『磁気結合式回転導入機（MFR）』

強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機

入機をご用意しているので、 用途に合わせてお選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。 【特長】 ■真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用 ■ロストモーションが少ない設計 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリング...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致しま...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『ベローズ式直進導入機　手動タイプ(ILD-M)』

基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機

意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。 【特長】 ■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用しているため、超高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているので、小型・軽量 ■ベーキング温度250℃に耐える設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』

コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』

強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機

『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』は、強力な永久磁石を用いた 磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。 直進回転導入機の他、回転導入機もご用意しているので用途に合わせて お選びいただ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社