• [RBS]ラザフォード後方散乱分析法 製品画像

    [RBS]ラザフォード後方散乱分析法

    固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱され…

    RBSは固体試料にイオンビーム(H+,He++)を照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です。 散乱されたHeイオンの運動エネルギーを測定し、衝突した原子の質量数を調べることで分析サンプルの成分や層構造を評価することができます。 また、固体試料にHeイオンを入射して前方に散乱されたHイオンを測定することで、サンプル中の水素濃度を評価す...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • ロックイン発熱解析法 製品画像

    ロックイン発熱解析法

    ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します

    ・IR-OBIRCH機能も合わせ持ち、発熱箇所特定後、IR-OBIRCH測定により、故障箇所をさらに絞り込むことができます。 ・赤外線を検出するため、エッチングによる開封作業や電極の除去を行うことなく、パッケージのまま電極除去なしに非破壊での故障箇所特定が可能です。 ・ロックイン信号を用いることにより高いS/Nで発熱箇所を特定でき、Slice & Viewなど断面解析を行うことができます。.....

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  • PV(太陽電池)各種評価事例集 製品画像

    PV(太陽電池)各種評価事例集

    太陽電池(PV)の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

    PV EXPO2013(国際太陽電池展)展示会にご来場いただけなかった方、MSTブースにお立ち寄りいただけなかった方、もう一度MSTの展示会資料をご覧になりたい方、ぜひご覧ください。 太陽電池の研究・開発・製造に必要な部品・材料、装置、セル・モジュールが一堂に出展する展示会『PV EXPO 2013』で使用したパネル資料全6枚のご紹介です。 [掲載内容] 有機薄膜太陽電池の活性層の...

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  • [IC]イオンクロマトグラフ法 製品画像

    [IC]イオンクロマトグラフ法

    イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です

    イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 ・イオン成分の定性分析、定量分析が可能 ・少量の試料(数mL)にて分析可能...イオンクロマトグフ法(IC法)は液体クロマトグラフ法(表1)の1種に分類され、液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 溶離液と呼ばれる移動相に液体試料を導入し、試料中のイオン成分を固定相である分離カラム内で分離させます。イオンクロマト...

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  • [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 製品画像

    [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法

    ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得

    TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 ■長所 ・サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能 ・試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能 ・FIBで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能 ・オプション機能を組み合わせること...

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  • [SAXS]X線小角散乱法 製品画像

    [SAXS]X線小角散乱法

    ・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能

    SAXSは、X線を物質に照射して散乱したX線のうち、2θ<10°以下の低角領域に現れるものを測定し、物質の構造を評価する分析手法です。通常、数nm~数十nm程度の大きさの構造を評価できます。 ・ナノスケールでの周期構造・配向性の評価が可能 ・微粒子や材料中の空孔分布を評価することが可能 ・タンパク質など生体材料の評価が可能 ・サンプルを加熱して評価することが可能...■周期構造による散...

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  • [TG-DTA/TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法 製品画像

    [TG-DTA/TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法

    サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成…

    TG-DTAは、加熱によって生じる重量変化(TG)、吸熱・発熱の熱挙動(DTA)を同時に評価します。 またTG-DTA-MSはTG, DTAの評価に加え、揮発成分の評価(MS)を連続して行います。 ・TGにより、%オーダーの重量変化を捉えることが可能 ・DTAにより、熱分解・融解・昇華・酸化・燃焼・相転移等の反応の知見を得ることが可能 ・MSにより、揮発成分や分解物の構造推定が可能 ...

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  • サンプルの送り方 製品画像

    サンプルの送り方

    分析を行うサンプルをMSTにお送りいただく際の送り方をまとめました。

    ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。...◆ウェハ ・元素分析 枚葉ケース・FOSB・チップケースなどでお送りください。 ・有機汚染評価 できれば、同一試料を2枚ご用意いただき、測定面同士を合わせて、アルミホイル艶消し面で、二重に包んでください。 ◆微小片サンプル ピンセットでの取り扱いに注意を要する微小片サンプルはサンプルを外側から確認できる透明なチャック袋などでお送り...

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  • [SEM]走査電子顕微鏡法 製品画像

    [SEM]走査電子顕微鏡法

    高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

    SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子(Secondary Electron;SE)像、反射電子(BackScattered Electron;BSE)像、透過電子(Transmitted Electron;TE)像の観察が可能 ...

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  • [XRD]X線回折法 製品画像

    [XRD]X線回折法

    XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

    ・結晶性物質の同定が可能 ・結晶子サイズの評価 (数nm~100nm)が可能 ・結晶化度の評価が可能 ・配向性の評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温~1100℃までの加熱分析が可能 ・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能 ・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能 ...XRDの評価対象である『結晶』とは、物質を構成する...

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  • [GDMS]グロー放電質量分析法 製品画像

    [GDMS]グロー放電質量分析法

    特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

    GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。 ・微量元素(ppbレベル)から主成分レベルまでのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料...

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  • [TDS]昇温脱離ガス分析法 製品画像

    [TDS]昇温脱離ガス分析法

    真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水…

    TDSは、真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法です。 TDSスペクトルは、横軸に温度、縦軸にイオン強度を表します。これにより、放出されるガスの脱離量の比較、脱離温度の比較が可能です。また、真空雰囲気下であることから水素や水も感度よく分析することができます。 ・試料から脱離するガス及び圧力と、発生温度の関係を知ることが可能 ・試料のみを加熱できるため、バックグ...

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  • [SCM][SNDM] 製品画像

    [SCM][SNDM]

    キャリア分布を二次元的に可視化

    SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手 法です。 ・SCM:1015~1020cm-3, SNDM:1014~1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ・半導体の極性(p型/n型)の識別が可能 ・キャリア濃度に相関した信号が得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も可能...■電気容量変化によるキャリア分布の可視化 ...

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  • [XRF]蛍光X線分析法 製品画像

    [XRF]蛍光X線分析法

    照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光する…

    蛍光X線分析(XRF: X‐ray Fluorescence)は照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。 ・測定範囲の全エネルギー(Na~U)が同時に短時間で測定可能 ・未知試料の分析に適している ・非破壊分析 ・特殊な試料を除き、前処理不要、大気中での分析が手軽に行える ・ハンドヘルド型の装置で動かせない...

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  • [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法 製品画像

    [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法

    試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

    試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能 ・異物検査装置の座標データとリンケージが可能 ・ミクロンオーダーの微小異物から数cmまでの定性が可能 ・最表面を感度よく分析することが可能 ・イメ...

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