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PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。
本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御(予測制御)により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L+EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...
メーカー・取り扱い企業: クリーンメカニカル株式会社 本社
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PR超微細な泡と撹拌力を持つ水流の低圧噴射で、泡立ちを抑えながら海産物など…
食品洗浄機『シルキーウォッシュシリーズ』は独自構造のエジェクタを使い 超微細な泡と水流を噴射する“シルキーウェーブ水流”で揉み洗いし、 ホタテ・エビ・イカ、魚介類・海藻類などの汚れを剥離して落とす製品です。 海産物の洗浄で問題となる泡の発生を抑え、現場の衛生環境を保てます。 【特長】 ■微細な泡と撹拌力のある水流の力で汚れを除去 ■給水量を調整でき、節水に貢献 ■海産物による...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社タイガーカワシマ
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働し...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働し...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1201』
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働し...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働し...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用のペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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