ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…

き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部 防水構造にVシールを使用しています。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に 適しています。 【特長】 ■300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き ■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『STWHR4156シリーズ』

酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に最適！

『STWHR4156シリーズ』は、防水に対応したツインアームの4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に 適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SWHR3156シリーズ』

酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット！

『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル