ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』

一次側低圧用中流量機種！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンル…

『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-Lシリーズ』

出荷検査を全数に実施！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルー…

『TORR-Lシリーズ』は、二次側微圧のコントロールが可能な調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-2800/2800SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種

『TORR-2800/2800SHシリーズ』は、腐食性、液化ガスを大流量で 供給するための調整器です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0....

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』

半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数…

『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。 通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の 「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の 「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。 また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…

『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや 室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける 高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』

一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…

『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』

一次側低圧用大流量機種！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧…

『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの 大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』

出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生…

『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵して...

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高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』

内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備…

『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な 高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる 一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備で...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-3300シリーズ』

ご希望の仕様に合わせて都度製作！Heリークテストを含め、出荷検査を全数…

『TORR-3300シリーズ』は、最大220m3/h（nor）の供給が可能な 一次高圧用の大流量機種です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 ご希望の仕様に合わせて都度製作しますので、ご用命の際はお気軽に お問い合わせください。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-Hシリーズ』

電解研磨仕様品の製作も可能！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実…

『TORR-Hシリーズ』は、二次側の高圧制御が可能な機種です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 電解研磨仕様品の製作も可能で、Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部