【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。 高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。 He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ！ 振動、ねじ…

▼【耐高温】 インシュレータにPEEK材を使用したメタルハウジングモデルは 250℃までの高温環境での使用に耐えます。　 ▼【真空】 お求め安い価格で漏れ率1x10⁻⁸ Pa. ㎥ /s以下のコンパクトな気密コネクタ ▼【高電圧】 最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ "ノイズ対策に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意" "（...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

レモの高ピン密度丸型コネクタはアプリケーションの使用スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。 標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。 これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。 主なアプリケーション分野： ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社