『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』

JIS標準ラックに収納できる！目的に合わせて各ユニットを自由に組み合わ…

『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』は、小型電子線鏡筒 MINI-EOC用の操作電源です。 JIS標準ラックに収納可能で安定性があります。 また、用途に合わせて各ユニットを自由に組み合わせられます。 【特長】 ■JIS標準ラックに収納可能 ■お客様の目的に合わせて各ユニットを組み合わせ可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。......

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』

SEM用断面観察試料を簡単に作製！最小±2.5μmの位置精度でのけがき…

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』は、タングステンカーバイドの ローラーを用いたSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の装置です。 加工プロセスは、モニターを見ながらけがき位置のティーチングし、自動でけがきを開始します。 観察部は自動スキップされ、けがきによる内部応力を利用して試料を破断します。 電子顕微鏡のサンプルホルダー等に挿入できるように試料を切り出します。 『...

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小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子…

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、 既存の装置へ追加する事ができます。 主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、 AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、 EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。 超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ

破断装置『AMC-7800』

作業性を大幅に改善！

『AMC-7800』は、マスクガラス・シリコン・SiC・液晶基板・サファ イア基盤などのSEM観察用の断面試料を作製する為の破断装置です。 操作は5ステップのみと簡単で、短い時間で端麗な破断面持った観 察試料片を作製することができす。 また、作業性を大幅に改善させることが可能になります。 【特長】 ■無研磨 ■完全ドライカット ■高精度ケガキ機構採用 ■スキップケガキ...

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試料破断器『ABK-5』

手軽に破断可能な試料破断器

『ABK-5』は、けがき加工を施した断面観察用試料を、手軽に破断さ せる事が出来る試料破断器です。 けがき加工を施した試料をセットし、破断用ノブをゆっくり回して試 料を破断できる簡単な加工手順です。 こちらの製品は、断面SEM試料片作製システム「AMCシリーズ」の オプションとして使用されます。 【特長】 ■試料幅約5mmまで対応 ■各種半導体ウェハの破断が可能 ...

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破断装置『AMC-7600』

ケガキ精度±15μmを実現！

『AMC-7600』は、タングステンカーバイトのローラーを用いた、 高精度なSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の破断装置です。 短時間で、高精度ケガキ機構+スキップケガキ機構を採用しており、 微小部位の端麗な破断面を取得することができます。 断面SEMサンプルを手軽に作製したいお客様のご要望を、当製品が可能に します。 【特長】 ■簡単操作 ■短時間 ■無研磨 ...

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