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加熱in-situ TEMを用い、半導体デバイスの熱処理中の材料の構造…
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化に関する新たな知見を得て、膜質制御などプロセス開発に役立てることが可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を用いると、SEMをベースにしたEBSDよりも高い空間分解能が実現可能である（各種EBSD法の空間分解能が数十 nm程度に対してASTARを用いたACOM-TEM法では2～5 nm）。また、識別できる結晶構造が多いことも特長である。通常のTEM解析では取得困難な結晶方位マップ、結晶相マップおよび粒径分布などを得ることで定量的な解釈が可能で...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌 201904-02 セルロースナノファイバー構造解析
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 CNFを扱う研究開発のうち、ほぼすべての材料分野、研究フェーズで電子顕微鏡を用いた観察は必要な評価となっている。特にポリマー中に分散するCNFをTEM観察するためには、これまで高分子材料のTEM試料作製を実施する上で不可欠であった「電子染色」の技法を駆使する必要がある。今回、CNFを用いた複合材料の形態観察事例を紹介すると共に、CNF自体の観察事例、構造解析例として13C核 固体NMR...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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初心者向けオンライン講座(e-learning)【形態観察】
形態観察を基礎から学びたい方向きの講座です。 SEM、TEM、球面収差…
形態観察を基礎から学びたい方向きの講座です。受講期間中、本講座に関する質問を受け付けております。 以下について、易しく、コンパクトに解説しています。 形態観察手法について ・ 走査型電子顕微鏡（SEM）：原理、試料作製法、分析例 ・ 透過型電子顕微鏡（TEM）：原理、試料作製法、分析例 ・ 球面収差補正走査透過型電子顕微鏡：原理、分析例 ...
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温...
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 酸化ガリウム（Ga2O3）は次世代パワー半導体材料として注目を集めており、近年研究が盛んになってきている。半導体デバイスの信頼性、特性改善にはプロセス技術の最適化が必要であり、その評価方法が重要となる。本稿ではエピタキシャル膜の品質評価に必要な結晶構造解析と、デバイス特性への影響が大きいイオン注入プロセスにおける不純物、欠陥、キャリア濃度解析を行った事例を紹介する。 【目次】 １．...
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム（DDS：Drug Delivery System）に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates（ADC等）が挙げられる。そ...
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技術情報誌 201902-01 DPC-STEMを用いたポリマー
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 走査透過型電子顕微鏡（STEM）の測定手法の一つである微分位相コントラスト（DPC）-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。 【目次】 １．はじめに ２．元素分析によるソフトマテリアルの可視化 ３．DPC-STEM法の適用 ４．おわ...
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技術情報誌 201907-01 全固体電池設計・開発のための分析
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 全固体電池の本格的普及に向け、特性向上及び安全性、耐久性の確保など、様々な課題を解決する必要がある。電解液系リチウムイオン電池とは異なり、固体電解質の材料物性値など、新たな評価技術への取り組みは今後重要になると考えられている。本稿では全固体電池の設計・開発において、「材料開発」、「電池作製プロセス改善」に有用な、最新の分析評価技術について事例も交え紹介する。 【目次】 １．はじめに...
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 SiCやGaNより大きなバンドギャップを持つ酸化ガリウム（Ga2O3）は新たなパワーデバイス材料として注目されている。デバイス応用に向けた薄膜成長技術の発展とともに、Ga2O3薄膜の分析評価技術の重要性は益々高まると考えられる。本稿では、サファイア基板上に作製したGa2O3膜の結晶構造解析、および不純物、欠陥評価を行った事例について紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．試料 ...
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