とうきょう | イプロス医薬食品技術

極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…

多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析 ■?素・?分の?精度計測 ■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど） ※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。半導体デバイスの不良解析、...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

差動排気型質量分析計『Transpector CPM』

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセス…

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。 ...・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計・365日の継続...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！

『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重…

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！

『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、センサ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

超高感度質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

極微小リーク分析

極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご…

刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクスとしてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を求められるものとなっております。 MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の極微小リー...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。【測定例...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、E...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

極微小リークの計測方法でお困りではありませんか？

答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社