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24件 - メーカー・取り扱い企業
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極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…
多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。 【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析 ■?素・?分の?精度計測 ■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど） ※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…
当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析、...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10（NW25）』
センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…
広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセ...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセス…
INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。 ...・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計 ・365日の継続...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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小型なボディで装置組込みの省スペース化！
熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジタル方式です。...帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10 4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 （特長） ●（1.0×10...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。
帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10 4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...（特長） ・（1.0×10-1Pa）?（1.0×10 4Pa）の測定範囲 ・故障に強い定温度型 ・小型なボディーで省スペース化が可能 （仕様） ・出力信号 ：a)制御出力 リレー接点出力容量 AC100Vmax、1Amax b)アナログ出力 0?5V F....
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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堅牢な冷陰極型電離真空計
帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...（特長） ●堅牢な冷陰極型電離真空計 ●小型のボディーで省スペース化が可能 （仕様） ・出力信号 ：a)フォトリレー出力 容量DC24V、0.5A b)アナログ出力 0?5V F.S. 主力インピーダンス1ＫΩ ・使用温湿度 ：...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』
業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！
『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、 お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重…
『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！
『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、 カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。 メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、 センサ...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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【限定5社デモ機受付中】アーク異常放電を抑制し成膜不良を激減！平均電力…
スパッタリングの最大の課題であるアーク異常放電を抑制する機能とHiPIMSの最大の課題である成膜レートを向上させる機能(特許取得済)を備えたHIPIMS用パルス電源です。 弊社独自のHF(High Frequency)モードはHiPIMSの波形の後段にHFパルスを入れることでターゲットのチャージアップをキャンセルし、アークレスな成膜を実現！ アーク異常放電を起こさないことにより平均電力をアップ...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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超高感度 質量分析装置 WATMASS－MPH DAシステム
【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…
『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、 リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あ...
メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社
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