ウェット式拭き取り材『ベルクリン シリーズ』

PR微小異物も確実にキャッチ。電子機器の拭き取り、クリーンルーム内の清掃等…

『ベルクリン シリーズ』は、微細気孔を有し吸水性、保水性にも優れたウェット式拭き取り材です。「ワイパー」としてはもちろん、さらに幅広く機能的に使用するための「モップタイプ」や「スワブタイプ」もラインアップしています。 ソフトな風合いにより、さまざまな対象にフィットし、表面の微細な気孔がパーティクルを確実にキャッチ。紙や繊維素材と異なり樹脂一体構造のスポンジ素材のため、毛羽立ちや糸屑の脱落が無...

メーカー・取り扱い企業： アイオン株式会社

品質文書の課題14：記録用紙の発行/回収を管理したい

PR【記録用紙発行(印刷)記録と回収記録を管理可能】文書管理クラウド『Pe…

データインテグリティ規制において記録用紙の発行／回収管理が強く求められています。 具体的には、以下です。 1）発行した文書へ一意の識別子を割り当て、発行者、日時および発行部数を台帳に記録する 2）記録後、書き損じや未使用を含む全ての印刷物を回収管理する 上記のように、記録用紙を管理するのはかなりの手間がかかります。 Perma Documentでは、記録用紙の発行／回収管理が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社野村総合研究所

冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した油回転真空ポンプ

【高品質な製品で魅力的な価格】ポンプの運転を安定化させる循環システム搭…

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】瞬間接着剤原料の減圧蒸留用排気システム

瞬間接着剤原料を製造する化学プラントの減圧蒸留工程で、反応缶を真空に引…

今回は製造能力をアップした設備の新設に際して、大型化した反応缶を 真空に引くために、より排気速度の大きい大型の真空排気システムが必要で あったため、当社で真空排気システムを製作し納入させていただきました。 接着剤製造工程で使われることから、接着剤材料が固着してポンプが止まる 可能性を考慮して、1系統が固着のために止まっても真空排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介

信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム

株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・…

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 　 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 　 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 　 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空システム

真空システム

大阪真空社では、「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」 を提供する事をモットーとして、 多彩なラインアップをもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベストな真空システムを提供していきます。 【各種真空システム】 ○ターボ分子ポンプを使った真空システム ○ドライ真空ポンプを使った真空システム ○油回転真空ポンプを使った真空システム ○液...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ…

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。...分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

直結型油回転真空ポンプ(一段式)『VSVシリーズ』

全機種二段式ガスバラストが標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油…

『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

直結型油回転真空ポンプ(二段式)『VRDシリーズ』

ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の油回転真空ポンプ。

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 　 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 　 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　蒸気エジェクタ

エジェクタは、気体（水蒸気等）や、液体（水等）を駆動源とする真空ポンプ…

蒸気エジェクタは、気体を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。構造が簡単で故障が少なく、扱いやすいのが特徴です。 また、エジェクタを直列に数段配置することで、より高真空の領域まで到達することができます。...【製品の特長】 ○運動部分がなく、潤滑油を使用しないのでダストを含む高温ガスを取り扱うのに最適 ○耐蝕性材料を自由に選択でき、大排気量のものも簡単に製作できる ○他の同容量の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度　800L/min ■水蒸気処理量　500g/hr ■排気速度　1000L/min ※...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　水エジェクタ(WJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプセット PRM/PRL/PRDシリーズ

ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します…

標準組合せで簡単にお使い頂ける他、ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。 ...【製品の特長】 ○ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。 ○標準組合せで簡単にお使い頂けます。 ○ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空装置

真空装置

大阪真空社の清浄高真空分野への取り組みは、 理化学研究分野をはじめ 半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーのニーズが 充分に反映されたものになっています。 【取扱い真空装置】 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置 ○真空排気装置 ○薄膜装置 ○FPD製造 ○真空環境試験装置 ●各種真空装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】封液循環型 液封式真空ポンプ

ケーシングとその内部にある羽根車から構成！液封式真空ポンプの納入事例を…

高機能フィルムの製造プラントにおいて有機溶剤を回収する真空蒸留工程に 「封液循環型(閉サイクル)液封式真空ポンプ」を納入した事例をご紹介いたします。 有機溶剤の温度を上げると変質の恐れがありますが、真空蒸留では、減圧することで 温度を上げずに有機溶剤を蒸発させ、回収することが可能になります。 また、今回のポンプと閉サイクル封液循環供給システムは、回収する有機溶剤の汚染を 防ぐため...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

株式会社大阪真空機器製作所 製品案内

取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…

当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■ターボ分子ポンプ ■ターボ分子ポンプ真空システム ■油拡散...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　有機蒸気エジェクタ

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

エジェクタは機械的駆動部が無いシンプルな構造の為、故障の発生がほとんどありません。...【製品の特長】 ○駆動源にEG（エチレングリコール）蒸気、コンデンサ冷却源にもEGを使用します ○EGを回収再使用できるので回収損失が少なく、また排水汚染もありません ○モノマーやヤリゴマーなどの固着物が駆動源であるEGに溶解するので固着量が激減し、メンテナンス回数が大幅に減少します ○その他の有機蒸気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所