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    『ASM Epsilon用温度センサー』

    新コーティング技術で、センサ寿命3倍!最大45%のコストダウンを実現!

    今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、 ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、 従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました! “EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの 製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。 この新しいコーティン...

    メーカー・取り扱い企業: IBPテクノロジー株式会社

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