『多地点漏洩水素監視ネットワークシステム』＜北九州市助成事業＞

“未付臭水素”のパイプライン供給を安全運用。無線水素センサーで広域エリ…

『多地点漏洩水素監視ネットワークシステム』は、 北九州市水素パイプラインで実証を行った、 未付臭水素のパイプライン供給を安全運用するためのシステムです。 ハンドホールに無線水素センサーを設置。 「漏洩水素誘導カバー」との組み合わせにより早期の漏洩検知を実現しています。 未付臭水素の運用では、付臭・脱臭のコストが不要。 人に頼らない保全システム構築による水素サプライチェーンに貢献...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小）となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確とな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ