気相用活性炭

ご使用環境に応じて3種類の活性炭からお選びいただけます！

『気相用活性炭』は、大気中の臭気成分を除去することができる活性炭です。 ご使用の環境に合わせて通気抵抗の異なる「破砕炭Bシリーズ」、 「造粒炭Gシリーズ」、「球状炭Tシリーズ」の3種類をラインアップ。 各シリーズは、対象ガス成分に応じて一般用、酸性ガス用、塩基性ガス用、 中性ガス用、複合臭気用がございます。 【ラインアップ】 ■破砕炭Bシリーズ ■造粒炭Gシリーズ ■球...

メーカー・取り扱い企業： コーヨー株式会社

ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…

「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。 キャビネット内にLPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ１２枚とHEPAフィルタ６枚を搭載しています。 低濃度環境下においても高い汚染物質除去性能を発揮するため、調清浄環境が要求されるプロセスの実現や光学系部品の汚染...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社