【室内圧の可視化サービス】アナログメーター可視化+微差圧ゲージ

クリーンルームの室内圧力をIoTを活用して可視化します！

『アナログメーター可視化サービス』は『微差圧ゲージ』と組み合わせることで、 クリーンルーム内、陰圧テント内の差圧を遠隔監視、メータ値確認作業の自動化を実現します。 微差圧ゲージに専用カメラを設置、撮影画像をクラウドに自動でアップロードします。 撮影画像をクラウドで読み取り、...

メーカー・取り扱い企業： 旭計器工業株式会社

高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』

一次側低圧用中流量機種！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンル…

量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-50／80シリーズ』

電解研磨仕様品の製作も可能！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言え…

『TORR-50／80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施している高純度ガス用圧力調整器です。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…

ルブボックスや 室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける 高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』

一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…

より高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■組立は全数0.3μ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』

一次側低圧用大流量機種！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧…

備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行って...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』

出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生…

量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側高圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行って...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』

内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備…

よりも流量の求められる 一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備でお使いいただいて おります。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』

半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数…

可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を必要とされる場合は お問い合わせください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■TORRシリーズで最大級のサイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

USL-DLフッ素樹脂圧力計

半導体関係から、薬品関係、食品関係まであらゆる分野で採用されています。

高純度流体に使用できます。 ○酸化物が発生しません。 ○密封式PP樹脂ケースなので、悪条件の雰囲気にも対応できます。 ○環境汚染問題に対応する為、塩化ビニールは採用しておりません。 ○クリーンルーム仕様で清浄度が保たれています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル