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1nm分解能で位置決めステージを制御!
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...型式:FC-911 接続対象ステージ:FS-10□0UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
ております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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