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質量は200gと軽量でサイズもコンパクト!外部環境から受ける影響を最小…
測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定性を温...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…
チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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