プラズマアッシング処理装置『WPA800S』

様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です！

『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

連続式回転加圧ろ過機　加圧ブローバックフィルタ

【改善事例ご紹介】省コスト、省スペース、生産性アップに貢献。『加圧×連…

に複数のろ過室を持つ、円筒多室型連続式の加圧ろ過機です。 密閉した加圧条件下で、ろ過・脱液・ケーキ洗浄・ケーキ剥離・ケーキ回収まで一連のろ過サイクルを並行して行います。 密閉性が高く、一般的なバッチ式の装置と比べて、安全かつ安定した環境下で運転することができ、品質維持が容易になります。 添付資料では、機械構造や導入の実例を写真・イラストを交えて分かりやすくご紹介しています。 ぜひダウン...

メーカー・取り扱い企業： 三菱化工機株式会社　産業機械

医薬・食品・ファイン用遠心分離機『HZ-PhIIシリーズ』

高品質な医薬品製造/回収を追及したGMP対応横型遠心分離機！

■医薬品を主用途とするバッチ式横型遠心ろ過機 ■GMP対応型で優れたCIP洗浄機能 ■クリーンルームへの設置が可能 ■横型なので均一なケーキ層が形成可能 ■バックブローによるバスケット内残留ケーキの回収が可能 ■密閉...

メーカー・取り扱い企業： 三菱化工機株式会社　産業機械