加熱工程ウエハホットチャック　PH050

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

に ○既存ステージなどに増設可能です ○ウエハ（基板）サイズ30~50mm　　　　　　　　　 ○温度範囲 、メカインターフェース各種対応いたします ○OEM対応品 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え 【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：30×50mm ○温度精度：±1.5％ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧くださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

真空ホットプレートチャンバー 「PH-224D型」

金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での加熱プロセス、材…

適 ○チャンバーとプレートを一体化し、 　部品点数の削減、低価格化をはかっている ○温度コントローラーは、専用タイプにより 　プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ウエハホットチャック 「PH-201C」

トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。

【特徴】 ○最高温度 400℃ 対応 ○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能 ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え ○OEM対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」

小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

、8”ウエハ２枚の処理能力があります。 【特徴】 ○最高温度　300℃ 対応 ○温度コントローラーは、専用タイプにより 　プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

必要なデータを取得（アナログ出力）できます。 【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

加熱工程ウエハホットチャック　PH070

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

○既存ステージなどに増設可能です ○ウエハ（基板）サイズ50~70mm　　　　　　　　　　 ○温度範囲 、メカインターフェース各種対応いたします ○OEM対応品 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え 【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：70×70mm ○温度精度：±1.5％ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧くださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー